材料分析方法第十四章电子显微镜.pptx

第十四章 扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)本章要点：1.入射电子束与样品作用后产生的各种信号及其特点2.扫描电子显微镜的构造和原理3. 扫描电镜的分辨率决定因素(入射电子束直径和调制信号类型)4.二次电子的特点、 扫描电镜二次成像各种形貌衬度特点5. 背散射电子特点 扫描电镜二次电子成像与背散射电子成像的不同点概述透射电镜TEM成像原理: 根据电子具有与可见光相似的波动性，利用电磁透镜放大成像.扫描电镜SEM成像原理：与TEM不同, 扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描，激发出各种物理信号。通过对这些信号的接受、放大和显示成像，获得试样表面形貌像。（常用的物理信号：二次电子）光学显微镜 透射电镜 扫描电镜 电子探针光路比较OMTEMSEMEPMA(EDS, WDS)光源聚光镜样品物镜信号探测器二次电子特征X射线投影镜样品样品荧光屏或照相底片Electron ProbeMiro-Analysis特别说明： 对于TEM，物镜和投影镜之间还存在“中间镜” 对于SEM,聚光镜与物镜之间加一个“扫描线圈”扫描电镜的作用：观察表面形貌（适合粗糙表面或断口）扫描电镜的优点：1）有较高的放大倍数，20-20万倍之间连续可调， 分辨率可达3 nm 左右；2）有很大的景深，视野大，成像富有立体感，可直接观察各种试样凹凸不平表面的细微结构；3）试样制备简单。 （对于不导电样品，做点导电处理） （样品的尺寸：几个毫米到几个厘米） 目前的扫描电镜大都配有X射线能谱仪装置，若配有EDS, 这样可以同时进行显微组织表面貌的观察和微区成分分析，因此它是当今十分有用的科学研究仪器。扫描电子显微镜 较光学显微镜有更好的景深/JCM6000.html光学显微镜在500 倍时仅有局部区域有清析的影像视野。扫描电镜同样500倍放大倍率下有较优越的分辨率与景深，全视野都非常清晰。SEM拥有良好景深，方便样品观察与分析苍蝇的复眼几层聚酯纤维片花粉颗粒扫描电镜的二次电子像氧化铝模板----扫描电镜的二次电子像　§14-1 电子束与固体样品作用时产生的信号电子束与样品作用分为两类：弹性散射（电子没有能量损失）弹性散射（电子把一部分能量传给样品）入射电子束与样品作用后产生的信号有：①透射电子，②吸收电子，③背散射电子，④二次电子⑤特征X射线，⑥俄歇电子（一种特殊的二次电子），等等。电子束与固体样品作用时产生的几种信号特点二次电子（扫描电镜主要用它来成像）产生：被入射电子轰击出来并离开样品表面的样品电子。由于原子核与价电子的结合能最小，因此价电子最容易脱离，二次电子中90%是样品原子的价电子。特点：●能量低,只能从样品的小于5～10nm深度的浅表层中逸出。●二次电子的产额对样品的表面形貌十分敏感，能非常有效的显示样品的表面形貌●二次电子的产额和原子序数没有明显依赖关系，所以不能用来进行成份分析信号的作用体积电子束受到物质原子散射作用，偏离原来方向，向外发散，所以随着电子束进入样品深度的不断增加，入射电子的分布范围不断增大，同时动能不断降低，直至动能降低为零，最终形成一个规则的作用区域。轻元素样品---“梨形作用体积”重元素样品---“半球形作用体积”改变电子能量只引起作用体积大小的变化，而不会显著地改变形状。二次电子5-10nm各信号能够到达样品表面的深度背散射电子：被固体样品中的原子核反弹回来的入射电子，可以来自样品表层几百纳米的深度范围溢出来，其产额与样品形貌和原子序数有关，其原子量越大反弹的愈多，经过处理后的成像就愈亮，因此用来鉴别出材料成分的差异性。背散射电子成像：1）不仅可作形貌分析，还可显示原子序数衬度。2）但它的成像分辨率较二次电子低。俄歇电子EL2EL1激发源EK俄歇电子的跃迁过程能级图俄歇电子(Auger)产生: 入射电子在激发特征x射线的过程中，如果原子内层电子能级跃迁过程中释放的能量不是以X射线的形式发射出去，而是用这部分能量把空位层的另一个电子发射出去（或使空位层的的外层电子发射出去），这个被电离出来的电子叫俄歇电子。特点: 能量低，只能从样品的小于2nm深度的浅表层中逸出俄歇电子具备样品原子的特征能量，特别适合做浅表面层成分分析。用在俄歇电子能谱仪AES(Auger electron Spectroscopy ）上。?该俄歇电子记为KL1L2 能量为其能量入射电子/光子与无关,是原子特征的)思考：俄歇电子KL1L1的产生特征X射线： 入射电子激发出内层电子，在内层产生空位，临近层的电子向空位层跃迁，产生特征X射线，其能量值等于样品元素的两能级差值。产生特征X射线可用于电子探针显微分析Electron ProbeMiro-Analysis (EPMA)目的是进