pecvd电流过高事故报告.ppt

故障现象 电流过高电压过低 排查过程 对NH3流量计经行检测，当NH3设定值为1slm时关闭NH3伐开启N2，发现流量值会漂移0.5slm，对SIH4流量计进行检测，当SIH4设定值为1800sccm时关闭SIH4伐开启N2，发现流量值达到1700 sccm左右，因此得出SIH4伐有泄漏，SIH4伐以失去其作用，所以对管道经行吹扫后将NH3、SIH4伐更换后机器正常。 正国太阳能 PECVD一线一号管电流过高的解决过程报告 窦鹏 2011年1月2日 故障描述 一线一号管在运行至镀膜工艺冲入硅烷时CMI报警信息HF curren to high！ Restart plasma recipe abort w/tox gas!!!(Abort 2). 电压应为360V以上但实际电压 只有280V左右；电流应低于20A 但实际电流高于20A 故障分析过程 1.检查射频电源； 2.检查射频电源线； 3.检查电极； 4.检查NH3与SIH4的流量计和伐； 排查过程 更换射频电源。 注意关闭射频电源，关闭冷却水 伐拔出信号线。 排查过程 更换射频电源线与电极。 更换电极时注意调整电极 位置，当电极位置不能和 石墨舟电极孔位置一致时 会造成进舟失败，不能以 次进舟到2082位。 排查过程 对以上部件经行排查更换后，一号管问题仍未解决，发现机台报警错误原因不在射频电源方面，应该是气路方面出现问题。 故障影响 此次故障对产量影响严重，主要原因是开始对故障问题分析错误，把射频电源做为主要问题进行处理使很长时间未能解决问题。