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微电子洁净厂房运行与管理 2007年2月 华　卫　群 微电子洁净厂房运行与管理 微电子技术的重要性和发展趋势 目前、微电子工业的发展水平已成为衡量一个国家的科学技术水平和经济发展实力的重要标志！ 自1958年世界上第一块集成电路问世以来，特别是近20年来，几乎每隔2~3年就有一代产品问世。 我国的微电子行业的发展，近年也投入了大量的人力、物力、财力，先后建成多家有实力的公司。 洁净厂房的一般概念常识 洁净室---CLEAN ROOM 空气悬浮粒子浓度受控的房间。 它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留的粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。 洁净区---Clean　zone 空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。室内其他有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。 洁净区可以是开放式或封闭式。 人身净化、物料净化用室 人身净化用室—Room for cleaning human body 洁净室工作人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。 物料净化用室—Room for cleaning material 物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。 悬浮粒子、粒径 悬浮粒子—Airborne particals 用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在０.1um~5um的固体和液体粒子。 粒径 –Partical size由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体半径。对离散粒子计数、光散射仪，采用当量光学直径。 洁净度--Cleanliness 按单位容积空气中某种粒子的数量来区分的洁净程度。 单向流、非单向流 单向流---Unidirectional flow 沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。 非单向流—non-nidirectional flow 凡不符合单向流定义的气流。 气闸室、传递箱 气闸室—Air lock 沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。 传递箱—Pass box 在洁净室隔墙上设置的传递另部件或小设备的开口,两侧装有不能同时开启的门扇并可设气闸。 洁净厂房“三态” 空态：as built 设施已建成，所有动力接通并运行，但无生产设备、材料及人员。 静态：at rest 设施已建成，生产设备已经安装，并按用户及供应商同意的状态运行，但无人员。 动态：operational 设施以规定的状态运行，有规定的人员在场，并在商定的状态下进行工作。 洁净厂房管理与运行 随着我国电子工业的飞速发展、特别是微电子工业以及产品的供过于求，各项产品的竞争日趋激烈，打赢这场竞争的关键是产品的质量和价格。生产环境的洁净度水平是电子产品生产的前提条件，而厂房各项设施的低成本运行则是产品价格的基础。 洁净厂房管理与运行 1、洁净厂房的系统组成。 风机(Fan)： 空气调节处理机组： 过滤器(Filter)： 自动控制系统(BA)： 环境参数监控仪器仪表： 2、洁净厂房的一般设计原则 位置选择及平面布置：含尘低、无有害气体、远离铁路等，最大频率风向上风侧。 工艺平面布置应合理、紧凑：只布置必要的工艺设备以及工序和工作室 噪声的合理控制：洁净室必须≤65dB(A),维护结构良好隔声性能、采用低噪声产品、风管风速宜按规定选用。 微震控制： 建筑要求：1、建筑平面和空间布局应具有适当的灵活性。2、围护结构的材料选型应满足保温、隔热、防火、防潮、少尘等要求。3、管线需暗敷时，应设置技术竖井、技术夹道。 2、洁净厂房的一般设计原则 空气净化的一般设计规定： 1、空气洁净度等级应满足工艺的要求。 2、不同洁净度级别选用不同气流流型。 3、温度、湿度宜根据工艺要求合理确定。 4、选用高效真空吸尘器或集中式真空吸尘系统。 5、压差控制应不小于5Pa。 6、根据洁净度要求合理选用空气处理用过滤器， 2、洁净厂房的一般设计原则 给水排水一般原则： 1、给排水干管应敷设在技术夹道或技术夹层内。 2、可能结露的管道应采取防护措施。 3、管道穿越墙壁、楼板和吊顶时应设套管，并可靠密封。 4、超纯水、冷却循环水、自来水等。 5、排水系统应根据工艺设备排出的废水性质、浓度和水量等条件分别设置、达标排放。 2、洁净厂房的一般设计原则 气体管路的一般规定： 1、气体管道的布置干管应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内宜与水、电管线共架，并应设在其上部。 2、高纯气体管道应按流量、压力或生产需要确定管径，最小不宜小于∮6×1mm。 3、穿越楼板或墙壁处不应有焊缝。 4、入口控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计等宜集中设置在入口室。 2、洁净厂房的一般设计原则 5、管道材料和阀门的选用应满足生产工