国外CCD检测技术在工业中的应用与发展（可编辑）.docVIP

国外CCD检测技术在工业中的应用与发展 The application and development of CCD measurement technology in foreign industrial fields LIU Zheng ,PENG Xiao2qi ,DINGJian ,TANG Ying College of Physics Science Technology under Central South University , Hunan Changsha 410083 , China Abstract :The CCD image sensors have been widely used in industrial process measurement and control systems owing to their wide spectral response ,wide dynamic range ,high sensitivity and geometric precision ,low noise and convenience for digital processing and connecting computers. The paper gives a brief introduction about the measuring principle of the CCD image sensor and its application status in industrial measurements. Some difficulties and limitations existing in its application are analysed and the trend of its application is point2 ed out. Key words :CCD ;measurement technology ;image sensor 可以长时间工作于恶劣环境、 便于进行数字化处理 0 引 言 和与计算机连接等优点 ,在图像采集、 非接触测量和 电荷耦合器件 Charge Couple Device ,CCD 是一 实时监控方面得到了广泛应用 ,成为现代光电子学 种以电荷为信号载体的微型图像传感器 ,具有光电 和测试技术中最活跃、 最富有成果的研究领域之 [1 ,3 ] 转换和信号电荷存储、 转移及读出的功能 ,其输出信 一 。 号通常是符合电视标准的视频信号 ,可存储于适当 1 CCD 传感器的检测原理 的介质或输入计算机 ,便于进行图像存储、 增强、 识 [1 ] 别等处理 。 CCD是由光敏单元、 输入结构和输出结构等组 自 CCD于 1970年在贝尔实验室诞生以来 ,CCD 成的一体化的光电转换器件 ,其突出特点是以电荷 作为信号载体 ,其基本工作原理见文献[4 ,5 ]。当入 技术随着半导体微电子技术的发展而迅速发展 , CCD传感器的像素集成度、 分辨率、 几何精度和灵敏 射光照射到 CCD光敏单元上时 ,光敏单元中将产生 Δ 度大大提高 ,工作频率范围显著增加 ,可高速成像以 光电荷 Q , Q 与光子流速率 n 、 光照时间 T 、 光敏 0 C [2 ] 单元面积 A 成正比 ,即 : 满足对高速运动物体的拍摄 ,并以其光谱响应宽、 ηΔ Q q n AT 1 动态范围大、 灵敏度和几何精度高、 噪声低、 体积小、 0 c 其中η为材料的量子效率 ; q 为电子电荷量。 重量轻、 低电压、 低功耗、 抗冲击、 耐震动、 抗电磁干 CCD图像传感器的光电转换特性如图 1 如示 ,其中 扰能力强、 坚固耐用、 寿命长、 图像畸变小、 无残像、 横坐标为照度 ,lx. s ;纵坐标为输出电压 , V 在非饱 0 收稿日期 :2004 - 12 - 29 和区满足 : 基金项目 :国家自然科学基金资助课题;高等学校博 τ f s d s + d 2 1 2 士学科点专项科研基金资助课题 20030533008 。 式中 , f s 为输出信号电压 V ; s 为曝光量 lx. s ; 作者简介 :刘征1979 - ,女 ,湖南省益阳市人 ,硕士 ,研究方向 为信号和信息处理。 d 为直线段的斜率 V/ lx. s ,表示 CCD 的光响应 11995-2006 Tsinghua Tongfang Optical Disc Co., Ltd All rights reserved.?66工业仪表与自动化装置 2005年第 4期 τ τ 度 ; 为光电转换系数 , ≈1