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特种加工实例 激光加工技术 LWS-400激光加工机床 激光特点 激光有四大特性:高亮度、高方向性、高单色性和高相干性。 加工特点: 1、它可以对多种金属、非金属加工,特别是加工高硬度、高脆性及高熔点的材料; 2、激光加工过程中无“刀具”磨损,无“切削力”作用于工件 。 激光加工样品 激光蚀刻样品 激光加工样品 激光加工样品 激光加工 激光加工 激光加工样品 激光加工样品 旁热阴极 控制栅极 加速阳极 聚焦系统 电子束斑点 工件 工作台 真空中,电流加热阴极发射电子束,由阳极加速,通过聚焦,使能量集中在直径5~10μm的斑点内。高能电子束冲击到工件上,冲击点形成瞬时高温:局部熔化、气化、蒸发直至去除。 1、电子束加工的基本原理 1—电源及控制系统 2—抽真空系统 3—电子枪系统 4—聚焦系统 5—电子束 6—工件 12.4 电子束和离子束加工 12.4.1 电子束加工 图12-7 电子束加工原理图 2、电子束加工的特点 ⑴ 电子束加工是一种精密微细的加工方法。 ⑵ 能加工各种材料,加工范围广。 ⑶ 电子束能量密度大,加工效率高。 ⑷ 便于自动化加工。 ⑸ 真空中加工,污染少。 ⑹ 设备价格昂贵。 3、电子束加工的应用 打孔、切割、光刻、蚀刻、焊接、热处理等。 1)电子束打孔 2)加工型孔及特殊表面 3)电子束光刻 4)电子束的其它应用。 教材P376 自学! 原理:真空中,离子源产生的离子经电场加速聚焦,打到工件表面。由于离子带正电,其质量比电子大数千万倍,高速离子束比电子束具有更大的撞击动能,以微观的机械撞击能量加工工件,而不是动能转变为热能来加工工件。 1.离子束加工基本原理 离子束射到材料表面时产生 撞击效应 溅射效应 注入效应 12.4.2 离子束加工 1-离子源 2-吸极(吸收电子,引出离子) 3-离子束 4-工件 5-靶材 图12-8离子束加工示意图 离子源 吸极 离子束 工件 靶材 ?加工精度高且便于控制。离子束可以通过离子光学系统进 行聚焦可达1 μm以内,可以精确控制尺寸范围。 ?产生污染少。离子束加工在高真空中进行,污染少,特别 适合于加工易氧化的金属、合金及半导体材料。 ?加工应力、变形极小。适合各类材料和低刚度工件的加 工 ,而且加工表面质量高。 ?离子束加工设备费用昂贵,成本高。 2.离子束加工的特点 3.离子束加工的应用 刻蚀加工、离子膜加工、离子注入加工 谢 谢 观 看 12.5 超声波加工 12.5.1超声波加工原理 超声波加工——利用工具端面作超声频振动,使工作液中的悬浮磨 粒对工件表面撞击抛磨来实现加工。 超声频振动(>16kHz) 利用工具端面作超声振动,使工作液中的悬浮磨粒对工件表面撞击抛磨来实现加工。 工件 图12-9 超声波加工原理图 换能器 超声波发生器 变幅杆 振动方向 工具 工作液喷嘴 利用工具端面作超声振动,使工作液中的悬浮磨粒对工件表面撞击抛磨来实现加工。 1-超声波发生器 2、3-冷却水 4-换能器 5-振幅扩大棒 6-工具 7-工作 8-工作液 超声波加工原理示意图 利用工具端面作超声振动,使工作液中的悬浮磨粒对工件表面撞击抛磨来实现加工。 ⑴加工设备较简单,操作及维护方便 ⑵被加工表面无残余应力,无破坏层,加工精度较高 IT≤0.02μm,Ra=1.25~0.1μm。 ⑶适用于加工各种脆性金属材料和非金属材料。 ⑷适用于加工各种形状的孔、型腔及成形表面。 ⑸生产效率较低(采用超声复合加工可提高加工效率)。 12.5.2 超声波加工的特点 12.5.3 超声波加工的应用 加工硬质合金、淬火钢等硬脆金属材料; 不导电的非金属硬脆材料(硅、锗、陶瓷、玻璃)的精密加工。 用于清洗、探伤和焊接等工作,应用广泛。 超声波加工 超声波加工 12.6 快速成形技术 12.6.1 概述 ??? 快速成型技术是基于计算机三维实体模型产生的一种新颖制 造技术,亦称快速原型制造技术(RPM)。 CAD 的三维实体模型数据,经计算机数据处理后,将三维实 体模型数据转化为许多平面“薄片”模型的叠加;然后通过计算机 控制设备制造这一系列的平面“薄片”,并加以堆积结合,形成复 杂的三维实体零件。 1. 快速成型技术的特点 不用模具制造形状结构复杂的零件、模具型腔等,如汽轮机叶轮、 泵壳体、手机机壳、医用骨骼与牙齿等。 (2) 应用快速成型技术制造零件的技术支持要求高。是计算
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