硬质薄膜和光学薄膜.pptxVIP

高健波硬质涂层 介绍目录03CONTENT020401课题内容硬质涂层简介DLC介绍光学涂层保护层Part 1硬质涂层简介Part One硬质涂层文献中指出：维氏硬度 ≥2040Hv称为硬质涂层 ≥4080Hv称为超硬质涂常见的硬质涂层有氮化物涂层、碳化物涂层、氧化物涂层、硼化物涂层硼化钽碳化钛氮化铬三氧化二铝Part One行业标准与课题结果市场上提供的CrN涂层一般满足硬度2000~2500Hv摩擦系数 0.3~0.5厚度0.5~15μm对比课题中达到的性能参数硬度 3141Hv摩擦系数 0.7（0.4）厚度 4.5μmPart One结合力弊端结合力现阶段采用测试方法有划痕法、压痕法等。而采用和本课题采用划痕法测量，一般企业产品标准在40N左右。受涂层自身剪切强度影响较大压痕法，采用洛氏压头下压，将压痕与标准等级对比的方法，市场上提供的产品可以达到HF2受基体效应影响较大Part 2课题内容Part Two等离子体增强磁控溅射CrN涂层磁控溅射运用电场与磁场交互作用，在靶板附近约束粒子，使得二次电子电离出更多的氩离子，增加溅射效率。在磁控溅射基础上，利用热丝作为等离子源辅助发生器。增加等离子体密度与范围，弊端温度不好控制。Part Two实验参数本底真空度3×10-3Pa沉积温度350℃腔体压强0.40PaPart Two检测手段1.台阶仪测膜厚2.摩擦磨损测摩擦系