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史密德刻蚀培训2111122
刻蚀基本知识;刻蚀基本知识;刻蚀基本知识;刻蚀基本知识;刻蚀基本知识;Schmid设备及原理介绍;大 致 构 造;M01:进料台;M02:刻蚀槽(HNO3-HF体系);实体图;刻蚀滚轮; M04:碱洗槽(KOH);防止碱溶液沿着硅片上方倒流到水槽中。; M06:酸洗槽(HF);风刀; M03、M05、M07:水洗槽;M08:风干槽; M09:下料台;异常分析——水膜;水 痕;漏 刻;Thanks for your attention!
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