硅片制绒艺和清洗 制绒工艺.ppt

关键因素的分析 ——不同制绒时间表面形貌的图片 * 经过5min制绒的表面形貌 关键因素的分析 ——不同制绒时间表面形貌的图片 * 经过10min制绒的表面形貌 关键因素的分析 ——不同制绒时间表面形貌的图片 * 经过30min制绒的表面形貌 关键因素的分析 ——不同制绒时间绒面反射率的比较 * 不同时间制绒后，硅片的反射谱 工艺控制方法 * 若出现雨点状的斑点，只要加入少量乙醇或异丙醇即可消除。 若硅片上端部分光亮，表明液位不够或溶液粘稠度过大，使篮框漂浮起来。 若硅片表面有流水印，说明溶液内硅酸钠过量，适当加大NaOH的用量；还有可能喷淋效果不理想。 * 化学清洗原理 HF去除硅片表面氧化层： HCl去除硅片表面金属杂质： 盐酸具有酸和络合剂的双重作用，氯离子能与 Pt 2+、Au 3+、 Ag +、Cu +、Cd 2+、Hg 2+等金属离子形成可溶于水的络合物。 * 注意事项 NaOH、HCl、HF都是强腐蚀性的化学药品，其 固体颗粒、溶液、蒸汽会伤害到人的皮肤、眼睛、 呼吸道，所以操作人员要按照规定穿戴防护服、 防护面具、防护眼镜、长袖胶皮手套。一旦有化学 试剂伤害了员工的身体，马上用纯水冲洗30分钟， 送医院就医。 * * 硅片制绒和清洗