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洁净技术专业用语 1．洁净度 cleanliness以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。 2．洁净室clean room 空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入,产生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。 3．洁净区 clean zone 空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入,产生及滞留粒子。空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。 4．移动式洁净小室 clean booth 可整体移动位置的小型洁净室。有刚性或薄膜围档两类。 5．人身净化用室 room for cleaning human body 人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。 6．物料净化用室 room for cleaning material 物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。 7．粒径 partical size 由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径。对离散粒子计数,光散射仪器采用当量光学直径。 8．悬浮粒子 airborne particles 用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.1～5μm的固体和液体粒子。 9．超微粒子 ultrafine particle 具有当量直径小于0.1μm的粒子。 10．微粒子 macroparticle 具有当量直径大于5μm的粒子。 11．粒径分布 particle size distribution 粒子粒径频率分布和累积分布,是粒径的函数。 12．含尘浓度 particle concentration 单位体积空气中悬浮粒子的颗数。 13．气流流型 air pattern 对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。 14．单向流 unidirectional airflow 沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。 15．垂直单向流 vertical unidirectional irflow 与水平面垂直的单向流。 16．水平单向流 horizontal unidirectional airflow 与水平面平行的单向流。 17．非单向流 non-unidirectional airflow 凡不符合单向流定义的气流。 18．混合流 mixed airflow 单向流和非单向流组合的气流。 19．洁净工作区 clean working area 指洁净室内离地面高度0.8～1.5m(除工艺特殊要求外)的区域。 20．空气吹淋室 air shower 利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员表面附着粒子的小室。 21．气闸室air lock 设置在洁净室出入口，阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。 22．传递窗 pass box 在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧装有不能同时开启的窗扇。 23．洁净工作台 clean bench 能够保持操作空间所需洁净度的工作台。 24．洁净工作服 clean working garment 为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装。 25．空态 as-built 设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备,材料及人员。 26．静态 at-rest设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及供应商同意的状态运行,但无生产人员。 27．动态 operational 设施以规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状况下进行工作。 28．检漏试验 leakage test 检查空气过滤器及其与安装框架连接部位等的密封性试验。 29．高效空气过滤器 HEPA(high efficiency particulate airfilter) 在额定风量下,对粒径大于等于0.3μm粒子的捕集效率在99.9%以上及气流阻力在250Pa以下的空气过滤器。 30．超高效空气过滤器 ULPA(ultra low penetration airfilter) 在额定风量下,对粒径0.1～0.2μm粒子的捕集效率在99.999%以上及气流阻力在280Pa以下的空气过滤器。 31．纯水 purity water 对电解质杂质含量(常以电阻率表征)和非电解质杂质(如微粒、有机物、细菌和溶解气体等)含量均有要求的水。 32．防静电环境 ESD controlled environment 能防止静电危害的特定环境,在这一环境中不易产生静电,静电产生后易于消散或消除,静电噪声难以传播。 33．表面电阻 surface resistance 在材料的表面上两电极间所加直流电压与流过两极间的稳态电流之商。 34．体积电阻 v