集成电路制系统模型的参数化方法研究与应用.docVIP

硕士学位论文 （专业学位） 摘要 集成电路制造系统是公认的最复杂生产系统之一，在对其进行建模时往往对某些特征进行简化或初始设定，以保证模型的可建性和运作性，然而模型随之产生由于缺乏准确的、随实际情况变化的参数而不够精确的问题，通过模型获取的性能指标或派工方案可靠性低下，不能准确地指导科学研究和实际生产。参数化方法的主体思路是利用生产系统中存储的大量历史数据和在线数据，利用统计分析、神经网络和灰色理论等方法构建参数化模型，由此获取集成电路制造系统模型参数的潜在知识与模式，以参数化模型的输出作为集成电路制造系统模型的输入参数，为模型的构建与决策分析提供可靠的、有效的数据支撑。 首先，本文详细介绍了集成电路制造系统的数学模型、智能算法模型、Petri网模型和仿真模型，从理论角度分析了各类模型特点并介绍了每类模型中参数的存在形式，为参数化方法设计提供基础。 其次，给出了模型参数化方法框架和模型参数化方法流程，介绍了主要用到的参数算法如时间序列分析法、神经网络、灰色理论等；根据参数化方法的作用不同，将参数化方法归纳为参数化模型优化方法和参数化建模方法；给出了参数化系统的数据层、用户界面层、参数化模型层三层设计框架并详细介绍了每层的模块功能和实现技术,其中C#和MATLAB混合编程技术不仅为参数化系统实现提供了基础，更为改善系统性能提供了新思路。 然后，运用模型参数化方法解决了集成电路制造企业的两个实际需求。根据问题特点，或采用模型参数化优化建模方法提高原有模型准确率以满足企业需求，或将企业需求转化为对参数的分析建立参数化模型，并在结果不满意的情况下再次采用模型参数化优化方法改善上述参数化模型准确率以使问题圆满解决。两个模型参数化应用均搭建了相应的参数化系统，实际生产线操作人员可直接通过界面操作使用，对指导实际生产线调度和提高企业生产率有重要意义。 最后，关于进一步工作的方向进行了简要的讨论。 关键词：集成电路制造系统模型、参数化模型优化、参数化建模、神经网络、灰色理论 ABSTRACT Integrated Circuit（IC）manufacturing system is recognized as one of the most complex production systems, so when trying to build a modeling to represent the production line, we have to simplify or initial setting on some of its characteristics to make sure that the model can be built and run. However, the models build under this condition is inaccurate, fail to dynamically reflect the reality situation. In consequence, the output of the models that using to guide the research or actual production lines such as performance index and dispatch is inaccurate. The main idea of parametric methods is to utilize the large amount of historical data and on-line data stored in the production system, using statistical analysis, neural networks and gray theory or other intelligent methods to build a parametric model, and thereby acquire potential knowledge and mode of the integrated circuit manufacturing system model. The output of parametric models is as the input for IC models building to provide the reliability and validity data support. The research introduce the modeling of integrated circuit manufacturing system from modeling theor