第九章 透射电镜1.pptVIP

第九章 透射电子显微术（TEM） 第一节、透射电镜成像原理概述 第二节、TEM的结构与成像机制 第三节、透射电镜聚合物制样技术 第四节、TEM在聚合物研究中的应用 第一节、透射电镜原理概述 透射电镜的成像原理与光学显微镜非常相似。 透射电子显微镜是以波长很短的电子束做照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种具有高分辨本领，高放大倍数的电子光学仪器。 1.光学显微镜与分辨率 光学显微镜的分辨率 艾丽斑半径Rd：大小相同的艾丽斑能被分辩的（像点光）最小中心距（与人眼分辩能力有关）。 借助显微镜成像，可分辨的最小的物点之间的距离为分辨率：rd 分辨本领主要取决于照明束波长λ,光的波长限制了显微镜的分辨本领 光的波长限制了显微镜的分辨本领，那么，能不能改变显微镜的成像媒介，采用波长更短的成像媒介呢？ 1924 年，法国物理学家德布罗意发表了运动粒子具有波动性的理论。进一步实验发现电子束具有波动的性质，而且波长极短。 电子波长还与其能量具有确定关系，即能量越大，波长越短。 于是，科学家们在此基础上提出了大胆的设想：用电子束代替光束制造显微镜。 。 3.电磁透镜－替代光学凸透镜的装置 Rüdenberg 是一位著名的电子物理学家,除了在西门子公司任科技部总工程师,还兼任柏林高工电机系教授。无论在学识、经验和远见方面都很强。 1931年5月28日，他的提出了电子显微镜的专利申请。 据Rüdenberg 及他儿子说,1930 年他的另一个儿子得了小儿麻痹症,这是由一种过滤性病毒引起的,受到分辨率的限制,光学显微镜对此无能为力。Rüdenberg 为此曾想到用X射线或电子束制造分辨率更高的显微镜[8] 。但是,他从来没有发表过这方面的论文,在电镜界也不知名。 他从来没做过磁透镜成像工作, 全凭理论推测得出。 对于Rüdenberg 的电镜专利申请,Ruska 及Knoll 是有看法的。因为在1931 年5 月里,Rüdenberg 的助手M. Steenbeck曾去Knoll 的实验室参观,了解到Ruska 的实验结果,并且看到了Knoll 将在6 月4 日做的有关Ruska 工作的学术报告手稿,题目是“阴极射线示波器的设计及新结构的原理”,在他们的第一篇论文中也没提到电子显微镜。就在Knoll 的6 月4 日学术报告的前几天,Rüdenberg 代表西门子公司在5月28 日向德、法、美等国的专利局提出了电子显微镜的专利申请。因此Knoll 和Ruska 产生一些怀疑也是可以理解的。 战后,Steenbeck 在前苏联工作直到1956 年7 月才回到东德。那时,Knoll 也从美国回到西德,他仍念念不忘Steenbeck 曾在Rüdenberg 申请专利前去他的实验室参观一事,因此在1960 年10 月17 日写了一封信给Steenbeck ,希望了解当时的具体情况。Steenbeck 在11 月8 日的复信中承认了他在参观后向Rüdenberg 做了汇报,并说“Rüdenberg 的(专利:译者加) 申请肯定是我访问你的结果,也肯定是从我的见闻中得到的启迪”[5 ] 注意,这个赞词中回避了“发明”电子显微镜这个字眼,这不是一时马虎,而是深思熟虑的结果。因为西门子公司的M.Rüdenberg 已在1931 年5 月28 日向德、法、美等国的专利局提出用磁透镜或静电透镜制造电子显微镜的专利申请(这是第一次出现电子显微镜这个名词) 从专利优先角度来看,Rüdenberg 应是电镜的发明人。 电子显微镜的发明开辟了直接观察原子的途径,早在几十年前就应得诺贝尔奖,由于有上述瓜葛,直到五十年后,所有其它有争议的人都已过世,才颁发给理应得此殊荣而又硕果仅存在的Ruska。Ruska 得奖后两年也就逝世了,幸亏他长寿,不然也就与诺贝尔奖失之交臂了。 但是,Ruska 一直不以电镜发明人自居, 而只是说自己是“Urheber”(引路人) 。在他获得诺贝尔奖后做的诺贝尔演讲的标题是“电子显微镜的发展与电子显微学”[4]报告中未用“发明”这个词, 也没提到Rüdenberg。 尽管如此, 虽然老Rüdenberg 过世,他的两个儿子在美国还是不断宣传他们父亲在电子物理方面的造诣及远见[8 ] 。一再说,在他父亲提出电子显微镜这个概念之前,Knoll 及Ruska 一直是在讲阴极射线示波器(如文献1 的题目) 。德国AEG公司的Brüche等也不服气,认为电镜的诞生不是Ruska 一个人的功劳。 理论与实践相结合的重要性。 透射电镜原理概述 高能电子束（50-200keV）穿透样品，根据样品不同位置的电子透过强度不同或电子透过晶体样品的衍射方向不同，经过后面的电磁透镜的放大成像。 透射电镜在加速电压U=100keV下，电子的波长为3.7p