第二节 薄膜的形成过程.docVIP

第二节 薄膜的形成过程 薄膜的形的形成过程大致是气—固转化与晶体的形成过程，它大致可以分为以下几个步骤：通过蒸发、溅射或其他方法所形成的原子或分子撞到基底表面；这些原子或分子被基底表面的原子吸附或返回到真空室内部；被吸收的原子或分子在基底表面迁徙或扩散；他们在迁徙或扩散过程中与其他原子或分子相遇成核；核之间或核与其他原子之间相互作用成岛；岛的迁移与表面粗化；膜的形成。下面将对一些过程作进一步介绍。 气态原子的凝聚过程 气态原子的凝聚是气态原子与所到达基片的表面通过一定的相互作用来实现的。这一相互作用是气态碰击原子被表面原子的偶极距、四极距吸引到表面，结果在很短的时间内失去垂直于表面的速度分量。只要入射原子的能量不太高，则原子就会被物理吸附，被吸附的原子即称为吸附原子。并且吸附原子与入射到基底表面的总原子数满足 其中为入射的总原子数，, q表示脱附速度为常数。 由于来自表面的作用或者本身动能的热激活，部分吸附原子可以在表面扩散，即从一个势阱运动到另一个势阱。原子的扩散能力用表面扩散系数来描述。表面扩散系数与扩散原子的跳跃几率有关，即 是尝试几率，是能量势垒，为波尔卮曼常数。T是温度 吸附原子在基底表面具有一定的停留时间或运动时间，在这段时间里，吸附原子可以与表面其他吸附原子结合成为稳定的原子团或者被化学吸附，同时释放出凝聚潜热。如果吸附原子没有被吸附，它将重新脱附或蒸发回到气相中。因此原子凝聚是吸附与脱附过程的静结果。 沉积原子的结核过程 沉积在基底表面的原子会相聚成核，对于具有一定数量原子的球帽形结构，其总自由能为： 。 其中，为单位体积的自由能。 半径与原子团的自由能的关系如下图所示。通过计算原子团的自由能有最大值为，相应原子团的半径为。 并且可知当r＜r*时，原子团是很不稳定的，这时原子团有很大的分解为单个原子团的几率。当r＞r*时，G将会随着原子团的增大而减小，这时原子团可以继续吸收沉积原子而逐渐变大。也即沉积在基底表面的原子所形成的部分核由于未达到临界半径的尺寸会分解成单个原子而被其他原子团吸收。 基底上球帽形原子团表面力的平衡 G与r的变化关系 岛的迁移与成膜 只要凝结核的尺寸达到临界尺寸以上，他们就会继续长大而形成岛。由于组成岛的原子也在不断地运动，于是岛之间也在不断地相互作用，岛之间也存在着迁徙与接合。随着岛不断地进行接合，那么原来的多个岛就会连结成具有随机走向的通道，这就达到了薄膜结构形成的迷津阶段。随着蒸发的不断进行，岛之间的通道不断变宽，基底裸漏在外的部分不断减少，最后逐渐被完全填充而成膜。