PVD脱膜的原因及提高各膜层结合力的方法.pdfVIP

PVD脱膜的原因及提高各膜层结合力的方法 技术部：龚邦根 广东汉能光伏有限公司 Guangdong Hanergy Solar Co., Ltd 目录 一、PVD脱膜的原因及改善方法 二、膜层结合力定义 三、影响膜层结合力的因素 四、各因素影响结合力的机理及改善方法 五、改善AZO+Al背电极层结合力的方法 内部资料，注意保密 Guangdong Hanergy 2 Solar Co.,Ltd. 一、PVD脱膜的原因及改善方法 1.脱膜不良现象描述： 在“中锦阳”培训时发现在PVD段存在高比例的脱膜不良 （约8.0%），此不良表现为：芯片上存在形状不等、大小 不等、区域不定的小块区域未镀上Al膜或AZO+Al膜，从膜 面侧看，可直接看到非晶硅层；且脱膜周围的膜层附着力 测试OK。 内部资料，注意保密 Guangdong Hanergy 3 Solar Co.,Ltd. 一、PVD脱膜的原因及改善方法 2.原因分析： 经过现场对不良品的检测查看，以及对PVD腔室内的查看 （更换靶材时看到），可以确定主要原因有以下两点： （1）靶的阳极条和炉内的挡板上镀层很厚且结合力很差， 爆镀层严重，镀层落到芯片上而导致芯片部分区域未镀上 膜。 （2）AZO靶的非溅射区域存在“结垢”现象，而此靶垢与 靶面的结合力很差，常有靶垢爆落到芯片上而导致芯片部 分区域未镀上膜。 内部资料，注意保密 Guangdong Hanergy 4 Solar Co.,Ltd. 一、PVD脱膜的原因及改善方法 3.改善方案： （1）针对阳极条和挡板爆镀层：4个溅射室的内壁都必须 装上挡板，挡板和阳极条必须至少准备3套，且必须定期 清洁、更换（清洁、更换周期调试阶段确定），换下的挡 板和阳极条脱镀后必须做喷砂处理后才可以使用（去掉表 面的腐蚀层）。 （2 ）针对AZO 的“靶垢”： a.靶结垢和靶材质量有很大的关系（靶材纯度差和靶材成 分不均匀易结垢），更换好的靶材可以解决此问题。 （此方法的优点是不需要对设备进行改动，但将增加靶材 的成本） 内部资料，注意保密 Guangdong Hanergy 5 Solar Co.,Ltd. 一、PVD脱膜的原因及改善方法 b.AZO靶由平面靶更改为圆柱靶，如下图所示： （此方法的优点是可以大大的提高靶材利用率，由20%左 右提高到70%~80%，但靶座需要做更改，且对靶材质量 要求很高） 内部资料，注意保密 Guangdong Hanergy 6 Solar Co.,Ltd. 二、膜层结合力定义 1.定义：薄膜对衬底粘着能力的大小，即薄膜与衬底材料 在化学键合力或物理咬合作用下的结合强度。结合力的大 小是影响膜层质量的最重要的因素之一。 内部资料，注意保密 Guangdong H