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基于SPR原理纳米级金属膜厚在线测量系统中视频图像处理 　　作者简介： 金雯霞（1987），女，河南洛阳人，硕士研究生，主要从事物理激光精密测量方面的研究。 　　摘要： 主要研究基于表面等离子共振（SPR）技术的纳米级金属膜厚在线测量系统中的视频信号处理问题。由于CCD在动态连续采集图像的过程中会受到环境以及工作台旋转的影响，从而会随机地产生高斯白噪声和图像的扭曲现象，造成视频图像的模糊或者扭曲失效。通过对视频图像进行滑动平均滤波、小波分析以及动态补偿时域滤波的处理，消除了高斯白噪声和避免图像扭曲的发生，确保了CCD获取视频图像的有效性与清晰度，从而提高了从图像中获取的共振角度变化量的准确性，并进一步提高了金属薄膜厚度的测量精确度与可靠性。 　　关键词： SPR； 纳米级； 膜厚； 在线测量； 滑动平均滤波； 小波分析； 时域滤波 　　中图分类号： TH 744文献标识码： Adoi： 10.3969/j.issn.1005 　　引言纳米级金属膜厚的在线精确测量主要是基于等离子体共振技术实现。当入射光以一定角度入射时，因金属对光具有吸收特性，而产生消逝波，使得发生反射现象时反射系数不为1，从而引发全内反射现象[1]。入射光与金属薄膜的表面的自由电子相互作用，在沿着金属介质界面上产生表面等离子振荡，又当入射光的波长与入射角度在一定范围内时，使得消逝波与金属介质表面所产生表面等离子震荡的频率与波矢相同，产生表面等离子体波共振[24]。根据共振角的变化可以得出10 nm以内的金属薄膜厚度，以达到精确测量的目的。本文所提出的在线测量系统主要利用表面等离子体共振（surface plasmon resonance，SPR）技术结合CCD进行动态的视频图像信息采集，以获得SPR共振角度的变化，反演计算金属薄膜厚度。由于整个系统是处于一个动态的工作环境，CCD在进行视频图像采集时容易因为测量环境以及工作台的转动而产生噪声以及图像的扭曲失真，使得获取的SPR共振角度变化信息不够精确而对膜厚测量结果造成干扰。本文提出利用滑动平均滤波与小波分析法对视频图像进行滤噪处理，增强图像的清晰度，以动态补偿时域滤波对视频图像进行动态补偿，以确保图像不会??现细节上的模糊扭曲造成失真，增强视频图像采集的可靠性，达到精确获取SPR共振角的变化量，精确测量纳米级金属膜厚的目的。 　　1.1Kretschmann结构模型及原理1970年德国物理学者Kretschmann E提出了Kretschmann结构模型[5]。该模型的工作原理是在特定棱镜的底部直接镀上一定厚度的某种金属薄膜，待测定的介质则在金属薄膜下方，倏逝波透过金属薄膜，与其在待测介质表面发生等离子体波共振。依据Kretschman型结构的等离子体波振荡原理，根据SPR的反射光强角度分布，可精确获得纳米级金属薄膜的厚度。Kretschman模型结构图如图1所示[5]。在图1中ε1、ε2、ε3分别为棱镜、金属薄膜以及真空的介电常数；kx1、kx3为激发表面等离子体振荡的光波在X轴方向的波矢分量；kz1、kz2、kz3为入射光在对应介质中垂直于分界面的波矢分量；λ为入射光的波长；d为金属薄膜的厚度；SPW表面等离子体波的波矢为kspr， 　　等：基于SPR原理的纳米级金属膜厚在线测量系统中的视频图像处理 　　1.2在线测量系统本文的SPR纳米级金属膜厚在线测量系统主要是利用棱镜适配临界角的典型Kretschman结构，当金属薄膜被大于临界角的光束照射时，在金属膜与真空的界面上将产生表面等离子体震荡，根据SPR反射曲线随着膜厚的变化而变化的原理，利用曲线匹配的方案最终实现金属薄膜厚度的实时在线测量。图2所示为整个系统在线测量的原理图。在图2所示的测量系统中，半导体激光器经过准直扩束之后的输出光，通过柱面透镜转化后，变为有效覆盖角度约为40～57°的较为理想的柱面光，该柱面光经过偏振片后得到P偏振光，P偏振光进入棱镜后，在金属薄膜表面激发等离子体波，形成衰减全反射。实验时以中低速旋转工作平台，可以获得产生等离子共振现象时的共振角。由前面的基本原理可知，当产生SPR现象时，反射光光强最小，该反射光经过成像透镜与CCD接收到的反射光强信号在纵轴方向的分量进行叠加，以消除散斑的影响。该系统中短天线目的是为了CCD接收到的信号与计算机之间的通信，利用短天线通信不仅免除了多线干扰，而且提高了系统的稳定性。在利用短天线进行通信时，考虑到外界其他信号对通信模拟信号的干扰，利用钟罩来避免。整个系统采用二维标准视频CCD，该CCD获取帧率为每秒25帧，在CCD采集到图像之后将其转换成数字信号通过短天线传输到计算机内进行分析和处理。计算机根据所采集的由系统角度自定位所标记的角度与光强数据建立一个供曲线匹配专用的数据