第四章 微传感器.pptVIP

第4章 微传感器 4.1 微传感器的基本概念 传感器的性能 MEMS与宏观传感器的比较 4.2 机械量微传感器 压阻检测原理与特点 谐振检测原理与特点 一、压力传感器 1、电容效应压力微传感器 2、谐振效应压力微传感器 2、谐振效应压力微传感器 二、加速度传感器 1、谐振效应加速度微传感器 2、电阻效应加速度微传感器 3、0位平衡式硅电容效应加速度微传感器 三、硅谐振式微陀螺（MMG） 谐振式（MMG多采用）原理 MMG的关键技术问题 一种较为理想的结构 四、流动微传感器 应用 典型产品例 4.3 非机械物理量微传感器 一、磁微传感器 1、霍尔器件 2、磁阻元件 2、磁阻元件 3、磁通门 3、磁通门 4、磁微传感器性能对比分析 4、磁微传感器性能对比分析 二、热微传感器 1、热敏电阻（RTD: resistive temperature detector） 2、热电偶 三、光微传感器 1、光电传感器 2、光纤传感器 3、光强传感器——光干涉传感器分类 4.4 生物、化学成分微传感器 常用的结构形式 1、半导体气敏微传感器 原理 应用 工艺 工艺 结构 2、电化学微传感器 3、生化成分的声学微传感器 原理发展 模式对比 SAW气体传感器 SAW气体传感器 本章重点难点 本章学习要求 优点：灵敏度高、电绝缘性能好、抗电磁干扰、耐腐蚀、耐高温、体积小、重量轻等——应用灵活、适应面广，开辟了很大应用空间 既传光，也是敏感元件 光纤内光传输特性受被测物理量作用（例如材料机械变形）而发生变化，使光的属性（光强、相位、偏振态、波长等）被调制。探测的对象往往不是光，严格地讲各属于机械量等传感器。 传感型 传光型 严格地讲不是传感器原理，而只是一种传输光线结构 实例包括：水下声波传感器、光纤微弯曲传感器、耦合波导传感器、移动光纤水听器、光栅传感器、偏振传感器及全内反射传感器等 光强传感型 光纤陀螺仪、声传感器、光纤光磁传感器（通过磁致伸缩材料外壳转换）等。 经过特殊掺杂或表面涂层的光纤——机械量传感器（加速度计，测量液面位置、形变、位移、力矩、流量的探测器）；辐射剂量测定仪、电流传感器、温度传感器； 光（相位）干涉传感型 （光纤传感型中） 微型化在生化成分检测中的优势 突破宏观检测阈值——微小电极对微小样品，即使样品电导率很小，极小电流也能形成有效的欧姆电压 电极微小，电流输出受对溶液流动不敏感 电容式接地的电流与表面积成正比，从而改善信噪比 微电极的响应快速 一般尺度效应 形成许多新的检测原理 实现微量样本的检测 薄膜、 微纳结构表面吸附生化成分 电极浸入生化液体 封装特点 需要一块暴露区域，为提高效果希望接触面积大 需要考虑环境损伤问题 影响封装完整性，增大封装难度 SnO2氧化物活性材料是一种N型半导体 较高温度时，空气氧接受由N型SnO2薄膜提供的电子成为阴性粒子 还原性气体将与原先吸附的氧阴离子发生反应而带正电，或者还原性气体与吸附的氧原子发生反应而释放束缚电子 材料 氧化物半导体，SnO2基最常用 大气污染、有害气氛等检测——一氧化碳、硫化氢等 火灾检测与燃烧控制——低浓度可燃气体或一氧化碳、氢、甲烷等还原性气体 有毒危险气体的检漏 人体检测——乙醇、麻醉试剂等 特点 灵敏度高——表达法 成本低 时间响应快 低能耗 长期漂移 选择性较差 ——改进掺杂贵金属 易受温度、湿度干扰 ——当前主流工艺 氮气携带含锡的有机复合物蒸气——与基板表面吸附的氧反应形成氧化物——高温退火形成SnO2气敏膜 参数：膜厚和晶粒尺寸在几十纳米至几百纳米范围内 CVD法——双气体混合反应 蒸发法 ——单质沉积后再反应 纯锡金属（或锡合金）加热沉积——在含氧气氛中高温转变成氧化物。参数：膜厚几百纳米量级 制备条件控制膜厚和晶粒尺寸——决定响应时间等性能 IC薄膜工艺 ——用SnO2粉末烧结成多孔厚膜 初始工艺 采用丝网印刷，将气敏膜印刷到Al2O3基板上 活性层的厚度约在几个微米至几十个微米之间 优点 气敏层多孔——有利于增大接触面积 传感元件几何形状多样（例如共面、叉指或夹心型） 设计制作简单 厚膜工艺 IC薄膜工艺形成结构 半导体化学传感器 ——离子敏感场效应晶体管 ISFET 基于传统的电化学分析原理 与固态或液态电解质接触 多个电极组成的电化学电池 原理与结构 电导/电容测量 电位测量测量 伏-安特性测量 工作模式 引入新技术 微加工工艺技术 新材料（固态电解质、导电高聚物等） 声学传感器——利用频率MHZ-GHZ的弹性波测量物理、生化量 固体表面传播的声表面波（SAW） 在很薄的弹性膜中传播的弹性弯曲平板波（FPW） 声平板模式（APM） 振动式阶