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第三章 磁电式传感器控制技术与系统 磁电式传感器是一种磁电转换装置，分电磁感式和半导体式两类。 电磁感应式传感器是根据电磁感应原理，把被测的非电量转换为感应电势的变换器。多用于位移、振动、速度、扭矩等的测控。 半导体式包括霍尔元件、磁阻元件、磁敏晶体管等。广泛用于位移、振动、速度、压力、电流、磁场的检测与自动控制等。 §1 霍尔传感器控制技术与系统 一、霍尔元件的基本原理 霍尔元件是根据半导体材料的霍尔效应制成的。霍尔效应原理如图3-1所示，处于 图3-1 霍尔效应原理示意图 磁场中的半导体单晶薄片，在X轴向通以控制电流I时，在Y轴方向两个侧面之间会产生电势差，这个电势差即是霍尔电压，其大小与电流I和磁感应强度B的乘积成正比。这种现象就叫做霍尔效应，对应的电动势称为霍尔电势。 U＝K I B 式中KH＝RH/d,称为霍尔元件的灵敏度，它表示霍尔元件在单位控制电流和单位磁感应强度时的霍尔电势的大小。RH称为霍尔系数，它的大小可以反映出霍尔效应的强度，RH＝ρμ，ρ为材料的电阻率，μ为载流子的迁移率。即单位电场下载流子的运动速度。d为霍尔元件的厚度。显然，霍尔元件的灵敏度与元件的材料，尺寸有关。材料一定时，d越小，灵敏度就越高。但对于结构一定的霍尔元件KH为常数。 霍尔元件的核心是一块矩形半导体单晶薄片。在薄片垂直于Y轴的两侧面正中焊两个金属电极，引出霍尔电势。在与X轴垂直的两侧面附装两个电极，用以导入控制电流I。 霍尔元件的符号与基本电路如图3-2所示。RL为霍尔电势UH的等效负载电阻，它可以是放大器的输入电阻，也可以是显示记录装置等。 a. 符号 b. 基本电路 图3-2 霍尔元件的符号与基本电路 二、霍尔元件常用的连接方式 为了改善霍尔电势输出特性，常采用图3–3所示的连接方式。 图3–3a为控制电流并联，输出电势串联，此时UH=UH1+UH2,调整w1和w2可调整霍尔电势UH1,UH2的大小。一般使两个元件输出电势相等，a,d端电势UH等于单个元件的两倍，但输出电阻也增加了一倍。 图3–3b是将霍尔输出端并联的电路，输出电势UH=UH1=UH2，输出电阻降低一半。 图c是工作电流采用交流时的电势叠加电路。元件的控制电流串联，各元件的输出分别接至变压器B的各初级，变压器的次级获得叠加的霍尔输出信号。 三、霍尔电势基本放大电路 霍尔元件的输出一般为毫伏级，在一般测量与控制场合，输出信号还不满足要求，这时可采用差动放大器进行放大，基本电路如图3–4所示。 图3-4 霍尔电势基本放大电路 四、霍尔效应集成电路 霍尔集成电路将霍尔元件，放大器，施密特触发器以及输出电路集成在一块芯片上，为使用者提供了一种简化和较完善的器件。其输出信号波形标准，开关过程中无抖动现象，且功耗较小，对温度的变化较稳定，灵敏度与磁场移动速度无关。 霍尔集成电路的电路图形符号如图3–5所示，其代号为“CIC”。 霍尔集成电路分霍尔线性集成电路和霍尔开关集成电路。 a. 单端输出 b. 双端输出 图3-5 霍尔集成电路图形符号 霍尔线性集成电路由霍尔元件，差动放大器和输出电路三部分构成。其输出电压与磁感应强度成正比，即具有线性关系，并具有功耗低，灵敏度高，使用寿命长等特点。主要用于无触点电位器，无刷直流电机，位置传感器，速度传感器等霍尔线性集成电路原理方框图和外形图如图3–6所示。 霍尔开关集成电路由霍尔元件，放大器，施密特触发器以及输出电路等四部分组成。其原理框图如图3–7所示。 施密特触发器亦称射极耦合双稳态电路，其作用是把差分放大电路的输出信号整形成较为标准的矩形脉冲。 五、霍尔集成电路的常用接口电路 霍尔集成电路的常用接口电路如图3-8所示。 图3-8 霍尔集成电路常用接口电路 图a为直接带动继电器的电路。设计时，要求继电器的工作电流不得大于霍尔集成电路的回路电流。 图b为驱动晶体管电路。一般用于较大负载的场合，晶体管起功率放大的作用。RL可以是电阻性负载，也可以是继电器等感性负载。 图c为触发可控硅的电路，UAC为交流电源，RL是负载电阻。 图d为驱动TTL集成电路的电路。 六、应用实例 1．位移、压力、振动的测量 当霍尔元件在一个均匀的梯度磁场里移动时，元件输出电压的变化就能反映出位移的变化，利用这一原理可对位移进行测量。实践证明，磁场梯度越大，霍尔输出对位移变化的灵敏度就越高；磁场梯度越均匀，则霍尔输出对位移的线性度就越好。 图3–9 几种霍尔效应变送器的磁场系统 图3–9表示了几种产生梯度磁场的磁场系统，图（a）为一块磁钢的情况，它的霍尔输出与位移关系见图3–10曲线a，图3–9（b）是采用二个场强相同的磁钢，以同一极性N–N相对安置着，在磁钢间正中位置磁场