第一屆第一次展覽委會議.pptVIP

光電製程、半導體製程 設備供應鏈 與 技術研發地圖 4.晶圓製造-擴散製程 離子佈植 快速升溫處理 氧化 / 擴散爐 / 擴散退火爐 Furnance / High temp Furnuance 帆宣 資騰 濕式批次處理 Wet Bench 嘉智 濕式單晶圓處理 Spin Cleaner 嘉智 紅字代表該設備、零組件自國外代理或進口 線性馬達 Linear Motor 大銀 滾珠螺桿 Ball Screw 大銀 線性滑軌 Linear Guideway 大銀 ←零組件供應 5.晶圓製造-製程檢測(1) 關鍵尺寸量測 Optical Measurement 揚朋 ADI量測 旭東 薄膜量測 Thin-Film Measurement 帆宣 缺陷量測 Particle Inspection 旭東 帆宣 EAP 羽冠 環境監控系統 Facility Monitoring System 耀群 產品表面監控系統 Surface Particle Counter 耀群 晶片高度檢測機 CCM Lans Holder 均豪 針測機 Probing Equipment 旺矽 微粒子計數器 Particle counter 耀群 2D/3D量測設備