本装置是搭载有小型化能谱分析仪分析型扫描电子显微镜..docVIP

1．1 简介 本装置是搭载有小型化的能谱分析仪(EDS)的分析型扫描电子显微镜。 主要技术指标如下： · 最高分辨率3.0 nm。 · 最新电子光学系统（EOS）可以实现最小放大倍数( 8倍（WD=48 mm）。（在加速电压小于10kV的条件下，还可以达到( 5倍 ( ( 7倍用来观察整体形貌。） · 大型样品室配制高精度全方位标准样品台，可以观察最大直径152 mm的大型样品。用户还可以选择两轴，三轴以及五轴马达驱动。 · 能谱分析仪（EDS）是能量分散X线谱仪的简称。它将所测信号通过计算机系统进行数字化，可以在短时间内对所测样品进行元素分布分析（Mapping）并得到其谱图。 · 本装置所搭载的能谱分析仪（EDS）所需工作距离WD=10 mm，X线入射角度为35 ○，这样可以得到更好的分析效果。可以在低倍下进行元素分布分析（Mapping），并可得到高分辨率下的观察效果。（还可以搭载WDS） · 全新功能丰富的用户界面（GUI）根据您的要求提供简单快捷的操作达到最好的图像观察。丰富的自动功能、针对不同样品的观察条件帮助（Recipe Function）和使用方便的DTP功能为您的操作提供帮助。功能丰富、使用方便的图像编辑和处理系统帮助您高效快捷地完成报告的文字处理和打印。 1．