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读书使人充实 思考使人深邃 交谈使人清醒 微纳米材料的机械特性测试技术 周峰 李冠华 张向祺 舒畅 贾蕴龙 2006年11月22日 微纳米材料：尺度10-9～10-6m的材料 机械特性：杨氏模量、泊松比、断裂/屈服强度、硬度 测量方法 拉伸法direct tension testing 弯曲梁法beam-bending testing 扭曲法torsion testing 纳米压入/划痕法nano-indentation testing 鼓膜法membrane-bulge testing 共振法frequency-response testing 判断前沿方向的依据——主要英文文献数据库的相关检索结果 检索数据库Elsevier – ScienceDirect Elsevier （爱思唯尔，荷兰）出版集团是全球最大的科技与医学文献出版发行商之一，已有180多年的历史。 ScienceDirect系统是 Elsevier公司的核心产品，提供电子出版物全文的在线服务，包括Elsevier出版集团所属的2200多种同行评议期刊，涉及四大学科领域：物理学与工程、生命科学、健康科学、社会科学与人文科学，数据库收录全文文章总数已超过783 万篇。 检索词示例 (tension OR tensile) AND (testing OR test OR method OR methodology) AND (micro* OR mems OR nano* OR film OR membrane) AND (mechanical OR Youngs OR elastic OR modulus OR Poisson OR fracture) 纳米压入法近年来文章数趋势图 拉伸实验 拉伸实验的优点——可直接获得弹性模量等参数 对微尺度拉伸试样，传统的拉伸测试设备不再能够满足要求 三种发展趋势 沿用传统单轴拉伸的方法，适当改进 转化拉伸方法 集成拉伸方法 传统拉伸方法 实验装置主要组成：驱动器、力传感器、位移传感器、机械框架、夹具。 重点 驱动方式 载荷测量 位移测量 机械框架 试样的制作、对中和夹持 传统拉伸方法——驱动方式 马达驱动 压电驱动 电磁驱动 传统拉伸方法——载荷测量 对于马达和压电驱动方式，载荷大小需要力传感器测量 对于电磁驱动，一种较巧妙的方法： 载荷大小用电磁力平衡式称重传感器测量。当加上或卸除载荷时，称盘位置发生变化，从而带动线圈移动，位移传感器将此位置改变转化为电信号，经PID调节器、放大器后，以电流形式反馈到线圈中，使电磁力与被称物体的重力相平衡，称盘恢复到接近原来的平衡为止。反馈电流与被称物体的重量成正比关系。 传统拉伸方法——位移测量 双视场标记法 光纤法 平板电容法 电子散斑干涉法 传统拉伸方法——机械框架 对于直接测量试样有效标距内的位移的情况，采用非接触式光学测量方法，不需要考虑测量系统（力传感器和夹具）的刚度和柔度，但结构相对复杂 另一种是沿用传统思想，位移传感装在力传感器的尾部，位移和力传感器耦合在一个框架内。操作简单，但系统的刚度和柔度需事先标定，位移测量结果应扣除夹具和力传感器的位移。 详情请参考网站 传统拉伸方法——试样 试样制作 试样的特征尺寸在微米量级，加工时应注意： 应将试样制作在保护性框架内或基底上，避免试样在安装时被损坏 试样被夹具夹持的面积应远大于试样的横截面积，便于夹具夹持 试样对中 试样需要在光学显微镜下装配，靠显微镜视场中十字标记来对中 试样夹持 最具有挑战性的环节。微小偏差将会导致大的扭曲应变且容易损坏试样。夹持方法： 胶粘固定方式 机械夹持方式 静电夹持方式 静电夹持 实验结果和方法总结一览 转换拉伸法 集成拉伸法 研究单位、相关期刊、会议 精仪系摩擦学实验室 …… Meas. Sci. Technol. Applied Physics Letter Journal of Materials Research Microsystem Technologies 仪器仪表学报 机械强度 现代科学仪器 …… International Conference on Solid-State Sensors and Actuators 全国微米/纳米技术学术会议 …… 硬度的定义与测量方法 硬度通常被定义为压入载荷与压痕投影面积的比值 宏观硬度(macrohardness) 微观硬度(microhardness) 纳米硬度(nanohardness) 测量方法 压入法 布氏、洛氏、维氏、显微硬度等 刻划法 纳米压痕(nano indentation) 原子力显微镜（Atomic Force Microscope, AFM） 一个对力非常敏感的微悬臂，其尖端有一个微小的探针，