微电子化学_ 第三章ppt课件.ppt

洁净室技术起步阶段 20世纪40-50年代，大量电子仪器失灵 洁净室技术发展阶段 60年代，宇航技术对电子元件的要求 洁净室技术加速阶段 70年代，集成电路大生产 洁净室技术高峰阶段 80年代，超大规模集成电路发展 发展过程 3.1 厂房洁净技术基础 3.1.1 空气洁净度级别 空气洁净度： 洁净环境中空气含尘（微粒）量多少的程度。 空气洁净度级别： 每立方米空气中的最大允许颗粒数。 一、概念 二、国外洁净室标准和级别概况 含尘浓度高则洁净度低，含尘浓度低则洁净度高。 1、美国空军技术条令203 世界上第一个洁净度标准。1961年3月问世。美国联邦标准的基石。 2、美国联邦标准 FS209 1963年12月问世。 ≥0.5µm ≥ 5.0µm 洁净度级别Clean class 尘埃最允许数/平方米Maximum permit quantity of particles per cubic metre ≥0.5um ≥5um 10 35×10 100 35×100 1000 35×1000 250 10000 35×10000 2500 100000 35×100000 25000 表3-1 美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年） 3、中国国家标准参照美国联邦标准和当时欧共体 的标准而制定 3.1.2 污染源（微尘和细菌） 对于洁净空间的污染源，主要讨论微尘和细菌两大类颗粒。 一、大气尘的概念： 早期大气尘的概念：是指大气中的固态粒子，即真正的灰尘。 后来又有人[如德国的荣格(Junge)]提出大气尘是粗分散气溶胶的概念 广义大气尘的概念: 既包含固态微粒也包含液态微粒的多分散气溶胶;是专指大气中的悬浮微粒，粒径小于10μm. 在美国和日本，和这种广义大气尘概念相对应的是，10μm以下称“浮游粒子状物质”或者“环境气溶胶”， 这是由美国环保局(U.S.EPA)和日本浮游粉尘环境标准专门委员会规定的，这一名称是对浮游粉尘和浮游微粒的统称。 狭义的大气尘。 洁净度级别Clean class 尘埃最允许数/平方米Maximum permit quantity of particles per cubic metre ≥0.5um ≥5um 10 35×10 100 35×100 1000 35×1000 250 10000 35×10000 2500 100000 35×100000 25000 表3-1 美国联邦标准（USA Federal Standard）209E（1992年） 二、大气尘浓度（空气含尘量） 在洁净室技术中，最常用的是以单位体积空气中含粒径≥0.5µm的微粒的最大允许粒数来确定空气洁净级别。 表 国外几种典型地区大气尘计数浓度 地区 含尘浓度(粒/L) （≥0.5μm） 地区 含尘浓度(粒/L) （≥0.5μm） 农村 3×104 清洁地区 3.5×104 大城市 12.5×104 洁净室设计用 17.5×104 工业中心 25×104 特别干净 0.19×104 污染地区 177×104 特别污染 56×104 普通地区 17.7×104 由于大气尘浓度值的大小直接影响人体健康，所以各国都有自己的大气尘计重标准。很多国家都把0.2或0.15mg/m3看成污染的浓度极限。 尘粒粒径/µm 比例/%（按粒数计） 30~10 0.05 10~5 0.17 5~3 0.25 3~1 0.07 1~0.5 6.78 0.5 91.68 大气尘粒径分布 平均粒径 气溶胶粒子是粒径不等的粒子集合体，由于微粒的形状各不相同，为了简便地反映所研究的粒子群的全部粒子的粒径特征，通常用“平均粒径”的概念。 式中: d--粒子直径； n--粒子个数。 根据微粒按粒径分布和按密度分布的规律, 可为测尘、防尘、除尘和净化采取技术措施提供理论依据。 四、大气菌的浓度 大气菌： 有生命的微粒污染 微生物包括： 细菌、菌类、病毒、原生虫类和藻类 和洁净室技术有关 细菌的等价直径： 一群带菌微粒通过过滤器时，细菌的过滤效率和某粒径的微粒的效率一样，这一粒径就是这群带菌微粒的等价直径。 细菌的等价直径一般可取 环境 无菌室（洁净室） 普通手术室 室外 等价直径µm 1~5 6~12 5~20 细菌不能单独存在，它一般附着在尘粒表面，形成有生 命的微粒 项目 尺寸 项目 尺寸 藻类 3～100μm 炭疽杆菌 0.46～0.56μm 原生动物 1～100μm 病毒 天花病毒 流行性腮腺炎病毒 麻疹病毒 狂犬病病毒 呼吸道融合病毒 腺病毒 肝炎病毒 脊髓灰质炎（小儿麻