04_第四章_激光准直和多自由度测量.pptVIP

CCD 线阵CCD 一维测量 面阵CCD 二维测量 特点: 可采集光斑的大小,及其能量分布, 计算机 识别能量中心的位移大小及方向 ? 2 §4.3 大气扰动及激光束漂移 一、大气挠动 大气挠动的静态模型: h = L2 dn 2 dr 实际大气存在: 气流,温度梯度等,使空气密度变化,从而折射 率n变化。实际空气折射率变化一般用结构函数来表示: D n (ρ) = [n(r 2 ) - n(r 1 )] 2 经验与理论公式: D n (ρ) = C n ρ 3 / 2 ; l 0 ≤ ρ ≤ L 0 Cn称作l 0 到L 0区间的结构参数．是折射率起伏变化的描述， 它与大气参数如热流、风速,高度有关。 l 0为最小非均幻旋 涡的尺寸，典型值为1-10mm、； L 0为最大非均匀尺度，它 和离地面的高度有关，近地表面处的干扰要大一些。 克服大气挠动的方法主要有: 机械法 光学法 机械法常用: 1)选择空气扰动最小的时间工作，如在早晨太阳升起之前。 另外，控制外界环境也能起到一定作用，如在光束传输路程 上避免有热源和温度梯度及气流等的影响 2)将光束用套管屏蔽，甚至将管子内抽成真空 3)沿着激光束前进的方向以适当流速的空气流喷射，因为 空气流提高空气扰动的频率，可用时间常数比较小的低通滤 波器，消除输出信号的交变成分。 4)对频率为50—60Hz的扰动可采取积分电路消除 二、激光束漂移 * 激光测量技术 Laser Measurement Technology 第四章 激光准直及多自由度测量 §4.1 激光准直测量原理 直线度误差是指被测实际轮廓线相对于理想直线的变 动量；直线度测量是平面度、平行度、垂直度等几 何量测量的基础 传统方法: 建筑: 垂线法, 拉钢丝法 大型设备安装:拉钢丝法 木工: 划线法 机械加工: 钳工的划线法, 定位 传统方法的特点: 简单,直观,垂线法, 拉钢丝法易 受环境因素影响,精度低 自准直光管和准直望远镜 测量精度10um，使用自准直光管具有0.1 s级的灵 敏度。缺点，如操作不方使，存在瞄准、调焦误 差等。同时，在较长的距离下，像质模糊，照度 低。一般可靠的工作距离小于30 m，此外也存在 空气的十扰。 1- 物管，带消色差透镜的物 管1.1 2- 准直测头， 2.1分束器、 目镜刻线2.2及准直刻线2.3 3- 目镜 4- 带灯泡4.1的光源， 4.2过 滤玻璃及4.3聚光器 自准直光管和准直望远镜 ⑵ 反射像 叉丝像 ⑶ ⑴ 伸缩目镜筒 透光窗 分划板视场 旋转目镜调节鼓轮 20世纪60年代激光出现后， 高亮度、 方向性 相干件好等优点。 激光准直仪具有拉钢丝法的直观性、简单性和普通 光学准直的精度，并可实现自动控制。 激光准直仪按上作原理可分为 1) 振幅测量法 2) 干涉测量法 3) 偏振测量法 一、振幅（光强）测量法 利用激光的能量中心及其光强分布实现直线度测量 其基本原理: 缺点: 激光器的光束漂移 光束的非均匀性 探测器灵敏度不对称 空气的折射率梯度 气流的扰动等影响 Quadpho todiode Laser 思考题: 水平,长距离测量,重力是否有影响? 振幅/光强测量法常用的准直方法 a．菲涅耳波带片法 b. 位相板法 c. 双光束法 1.菲涅耳波带片法 十字划线,是干涉形成的, 有良好的抗干扰能力, 光 强分布均匀, 经过扩束后照射波带片, 避免的激光光束的漂移及 振动因素的影响 2. 位相板法 相位板相邻光程差半波 长,即相位相差pi, 相 位板后,任何截面形成暗 十字划线, 经方孔后,发 生衍射,形成四光强点 Δx = I 1 + I 2 ? (I 3 + I 4 ) Δy = I 1 + I 4 ? (I 2 + I 3 ) 3. 双光束法 采用两光束的平分线作为准直基准可以克服激光器的 漂移和部分空气扰功影响 二、干涉测量法 干涉测量法是在以激光束作为直线基准的基础上， 又以光的干涉原理进行读数来进行直线度测量的。 主要有以下几种方法: 1.楔形板干涉法 2. 频激光干涉法 3.光栅干涉法 1.楔形板干涉法 2. 双频激光干涉法 3. 光栅干涉法 Δ = K d 4 4. 偏振测量法 光束从光楔组的正中央穿过时，由于左旋和右旋石 英的厚度相同，不产生附加的旋光量 φ =4AStan β §4.2 激光准直仪的组成 主要组成(三部分): 激光器 光束准直扩束系统 光电接收及处理电路部分 一、激光器 利用激光束的能量中心,