双腔并联式无阀压电微泵的设计及制作.docVIP

双腔并联式无阀压电微泵的设计及制作第32卷第4期 2010年8月 压电与声光 PIEZOELECTRICSamp;ACOUST0OPTICS Vo1.32NO.4 Aug.2010 文章编号:1004—2474(2010)04—0611-04 双腔并联式无阀压电微泵的设计及制作 李鑫,闫卫平,徐迎华,陈怡儒 (大连理工大学电子科学与技术学院,辽宁大连116023) 摘要:为了实现微流控芯片的小型化,集成化,设计并制作了一种可定量连续输送微量液体的无阀压电微 泵.该微泵采用双腔并联式结构,利用微机电系统(MEMS)技术在硅基片上制作了具有扩散口/喷口无阀结构的 出入水口,采用压电双晶片作为驱动部件,以聚二甲基硅氧烷(PDMS)作为泵膜.测试结果表明,泵膜的厚度,工作 频率和电压对微泵的输出流速均有明显的影响,在频率1100Hz及电压8OV时,双腔体并联式无阀压电微泵的最 大流速为210I/min,约为相同结构单腔体微泵流速的1.5倍. 关键词:双腔;无阀微泵;压电双晶片;聚二甲基硅氧烷(PDMS) 中图分类号:TH38;TN384文献标识码:A DesignandFabricationofValvelessPiezoelectricMicropumpinParallelwith DoubleChambersBasedonMEMSTechnology LIXin,YANWeiping,