氯硅烷和多晶硅精馏节能减排与提高质量的技术应用.docVIP

PAGE PAGE 1氯硅烷和多晶硅精馏节能减排与提高质量的技术与应用李群生??通讯联系人，李群生，博士，教授，博士生导师。专业方向：传质与精馏分离过程，电话：010mail: HYPERLINK mailto:Liqs1201@，liqs@Liqs1201@，liqs@。(北京化工大学，北京，100029)摘要：介绍了多晶硅生产的精馏过程及其节能降耗的方法，包括使用多效精馏技术、提高分离效率和全面优化流程等方面。通过多效精馏、可以达到大幅度节能减排的效果；采用高效导向筛板塔和高效填料的方式，使得分离效率提高，不但降低了多晶硅精馏的能耗，减少了排放量，还可以进一步提高产品质量，提高太阳能电池转化率；关键词：多晶硅，精馏，节能减排，提高质量The technology and application of rectifying energy-saving, pollutant emission reduction and quality-enhancing of Poly-silicon and chlorosilane Qun-sheng Li(Beijing University of Chemical Technology, Beijing, 100029)ABSTRACT: Introduced the rectifying process of the poly－silicon production and the method of its energy conservation and lower consumes, including the multiple-effect selective evaporation technology, enhances separation efficiency and comprehensive optimized flow and so on .Through the multiple-effect selective evaporation, may achieve the effect of large scale energy conservation and reduces the amount of effluent; Uses the highly effective guidance orifice column and the highly effective packing to enhance the separation efficiency, not only reduced rectifying process energy consumption of the poly－silicon, reduced the effluent, but also may further improve the product quality, enhances the solar cell conversion rate;Keywords: poly-silicon, rectifying, Energy-saving and pollutant emission reduction, quality- enhancing 前言多晶硅不仅是信息产业的基础材料，而且也是实现光电转换(如太阳能发电)的理想材料。为促进我国光伏产业和电子信息产业的持续快速发展，国家发改委将“光伏硅材料的技术开发”列入《可再生资源产业发展指导目录》；2005年国家发展与改革委员会发布的第40号令《产业结构调整指导目录》将6英寸多晶硅生产属于高新科技项目，但多晶硅生产过程中产生大量的SiCl4、SiH2Cl2、SiHCl3等氯硅烷副产物，使生产成本居高不下；部分氯硅烷及HCl进入尾气，既增加了尾气处理成本，也增大了污染物的排放量，废水中的Cl浓度达1700～2500 mg/L。如何有效解决氯硅烷副产物的出路是降低多晶硅生产成本、实现节能减排的关键，也是目前多晶硅生产企业面临的重大技术难题。目前多晶硅生产的核心技术还掌握在国外企业手中，规模生产及副产品回收一直是中国企业的最大难题。大部分企业都缺少化工产业的背景，有些企业一开始就要搞万吨级项目，很难克服规模化生产中的技术难题。而多晶硅精密度要求非常高，生产过程中又有大量易燃易爆气体存在，如果回收工艺不成熟，三氯氢硅、四氯化硅、氯化氢、氯气等有害物质极有可能外溢，存在重大的安全和环境隐患。因此，要打破国外技术封锁，自力更生发展多晶硅产业，首先要保证工厂的先进装备和工艺技术水平，以及产品的高质量和低成本。为了实现这一目标，我们要组织国内硅工业生产的科技力量，尽快对以下关键技术组织重点攻关：(