溶胶-凝胶法制备低介电常数纳米多孔二氧化硅薄膜-preparation of low dielectric constant nanoporous silica films by sol-gel method.docxVIP

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2018-07-29 发布于上海
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溶胶-凝胶法制备低介电常数纳米多孔二氧化硅薄膜-preparation of low dielectric constant nanoporous silica films by sol-gel method.docx

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溶胶-凝胶法制备低介电常数纳米多孔二氧化硅薄膜-preparation of low dielectric constant nanoporous silica films by sol-gel method

turningTEOStoSiO2isveryslowwithoutcatalystowingtothepromptnessofcondensationbetweenPH=1or2whileslownessaroundPH=7;H+acceleleratesthecondensationandgelation.Inaword,SiO2thinfilmswithlowdielectricconstantissuccessfulmadebythesol-gelmethod,thesizedistributionofSiO2thinfilmsisgreat,whichwillbefoundwideuseinthemicroelectronicfiled.Keyword:sol-gellowdielectricconstantSiO2structure-directingagent目录摘要..................................................................................................................................................IAbstract................................................................................................................................................II1绪论..................................................................................................................................................11.1引言......................................................................................................................................11.2降低材料介电常数的主要方法............................................................................................41.3低介电材料简介...................................................................................................................51.4用作互连线介质的低介电材料的性能要求......................................................................111.5本论文的选题思路和主要研究内容..................................................................................122纳米多孔二氧化硅薄膜的制备和表征方法.................................................................................132.1制备低介电薄膜常用的工艺..............................................................................................132.2溶胶-凝胶法.......................................................................................................................142.2.1溶胶-凝胶法简介......................................................................................................142.2.2溶胶-凝胶法制膜工艺的优点..................................................................................152.3溶胶-凝胶法制备纳米多孔薄膜的工艺方