Q_320583 XGQY008-2013铜靶.pdf

Q/QYG 昆山全亚冠环保科技有限公司企业标准 Q/320583 XGQY008-2013 代替Q/320583 XGQY008-2010 铜 靶 2013-07-06 发布 2013-07-06 实施 昆山全亚冠环保科技有限公司 发 布 Q/320583 XGQY008-2013 前 言 本标准的编写，参照国家标准GB/T1.1 《标准化工作导则》的规定编写。 本标准由昆山全亚冠环保科技有限公司提出，品保中心归口。 本标准由昆山全亚冠环保科技有限公司研发部、品保中心负责起拟。 本标准主要起草人 : 朱振华 、方家芳、蔡娜。 本标准于2010 年 7 月6 日起实施。 本标准所代替标准的历史发布情况为：——Q/320583 XGQY008-2010 Q/320583 XGQY008-2013 铜 靶 1.范围 本标准规定了铜靶的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、储存和运输。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的 修改单（不包括勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研 究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。 GB/T 23942-2009 化学试剂 电感耦合等离子体原子发射光谱法通则 3.要求： 3.1 外观：光亮度均匀;光滑及清洁无污染；检测频度：3PCS/批。 3.2 尺寸: 如图面编号上各部位(如长度、宽度、厚度/外径、内径、厚度)尺寸及公差要求；检测频度： 3PCS/批。 3.3 表面粗糙度: Max6.3 μm或依客户要求；检测频度：1PCS/批 3.4 金相: 晶粒大小依客户要求；检测时机：新规格产品生产时、制程条件变更时、产品异常原因调 查时及客户有特别要求时。 3.5 成份含量要求如表1: 表1 主要成份 wt% 雜質元素(Max)/ppm 規格 Cu Ag Fe Ni Sn Zn As Bi Sb Total 3N 銅 ≧99.9% 250 300 150 200 150 20 10 20 1000 3N5 銅 ≧99.95% 60 50 20 40 30 20 10 20 500 4N 銅 ≧99.99% 30 50 10 20 15 10 5 10 100 主要成份 wt% 雜質元素(Max)/ppm 規格 Cu Fe Ni Zn Pb Ti Si Cr 4N5 铜 ≧99.995% Total≦50 主要成份 wt% 雜質元素(Max)/ppm 規格 Cu