線検出器TES型ppt课件.pptVIP

宇宙物理実験研究室 藤森 玉行;話の流れ;天体観測で必要とされるX線検出器;X線マイクロカロリメータとは;ＴＥＳ温度計（Ｔｒａｎｓｉｔｉｏｎ‐Ｅｄｇｅ‐Ｓｅｎｓｏｒ、超伝導遷移端温度計）;開発の現状;TES型X線マイクロカロリメータの製作;製作プロセスフロー その１;プロセスフロー その２;１２、フォトレジストを付ける;TESの製作 １;TESの製作 ２;チタン 40 nm 金 80 nmのエッチング;アルミ配線の製作フロー;アルミ配線の製作;メンブレン構造の製作フロー;フォトレジストを塗布 露光?現像 Reactive Ion Etchingで窒化膜をパターニング フォトレジスト除去;異方性エッチング;シリコンのKOHエッチング;（110）シリコンのKOHエッチング後の写真;完成したTES型X線マイクロカロリメータ;X線照射実験セットアップ;X線の検出に成功;エネルギー分解能;まとめと今後;カロリメータのノイズ;X線スペクトル;禁制線