西安交通大学教学进度计划课程名称MEMS与纳米技术总学时已.DOC

西 安 交 通 大 学 教 学 进 度 计 划 课 程 名 称 MEMS与纳米技术 总学时 已完成 学时 本 学 期 时 数 适 用 班 级 机自机械（硕） 周 次 教学环节 内 容 课内时数 自学时数 备 注 9 讲课 第一章:微型机电系统（MEMS）导论 (MEMS) 2 MEMS的基本概念 MEMS的优势与不足 MEMS的历史与发展 MEMS的应用与市场 9 讲课 第二章：MEMS结构与器件简述 力学器件 热力器件 微流体器件 传动与致动器件 MEMS结构特征 2 9 讲课 第三章：微图形转移技术――光刻 光刻基本原理 掩膜板制备 光刻机 光刻工艺流程 光刻结果评价 2 10 讲课 第四章：MEMS硅基材料 单晶硅 其他硅基材料 2 10 讲课 第五章：基本硅微加工技术 薄膜淀积 刻蚀 材料改性 2 10 讲课 第六章：等离子体物理基础 粒子碰撞过程 粒子密度与能量 鞘层理论 直流与射频放电 2 11 讲课 第七章：等离子体硅微加工技术 离子溅射 PECVD 2 11 讲课 3．等离子体刻蚀 2 11 讲课 第八章：MEMS硅微工艺流程 体硅工艺 表面工艺 多用户MEMS工艺流程 机电集成策略 2 12 讲课 第九章：LIGA与准LIGA技术 2 12 讲课 第十章：MEMS设计举例——静电梳 2 12 讲课 MEMS部分总结 2 13 讲课 第十一章：纳米技术绪论(纳米技术) 1． 纳米科学与技术发展史 2． 纳米技术发展的主要特征 3． 纳米技术发展的意义 4． 纳米技术的产业化前景 2 13 讲课 第十二章：纳米材料 纳米材料的定义和分类 2 13 讲课 2 纳米材料结构 3纳米材料的特性 2 14 讲课 第十三章：纳米材料制备与纳米材料应用 纳米制备技术的发展趋势 纳米材料制备技术方法分类 纳米材料的制备方法 2 14 讲课 4．纳米材料的物理制备方法 5．制备方法 2 14 讲课 材料的应用 陶瓷增韧 在磁性材料方面的应用 在催化领域的应用 在光学方面的应用 在其他方面的应用 2 15 讲课 第十四章：纳米加工 电子束曝光 2 15 讲课 聚焦离子束加工技术 2 15 讲课 纳米压印 2 16 讲课 4．扫描隧道显微镜 5．原子力显微镜 2 16 讲课 第十五章：纳米测量技术 2 扫描电子显微镜 工作原理 扫描电镜的特点 扫描电镜试样制备 扫描电镜在微纳米技术中的应用 16 讲课 课程总结 2 （注：表中第一到第十章参考教材为《MEMS结构与工艺》，十一到十五章参考教材为《纳米技术概论》） 参考书目：书名、作者、出版社、出版时间。 教材： 《MEMS结构与工艺》由卢德江主编，本校讲义。 《纳米技术概论》由王海容等主编，本校讲义 参考书目： P. Rai-Choudhury，Handbook of Microlithography, micromachining microfabrication, IEE Materials and Devices Series 12B: ISBN:0-85296-911-2 张立德，《纳米材料和纳米结构》，科学出版社，ISBN 7-03-008459-4/0.1236 Stephen A. Campbell，The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication, 电子工业出版社， ISBN 7-5053-8313-2/TN.1729 曹茂盛，曹传宝，徐甲强编著，《纳米材料学》，哈尔滨工业大学出版社，2002 袁哲俊编著，《纳米科学与技术》，哈尔滨工业大学出版社，2005 Bharat Bhushan(Ed.),《Handbook of Nanotechnology》，Spinger-Verlag Berlin Heidelberg New York,2004 顾宁，付德刚，张海黔等编著，《纳米技术与应用》，人民邮电出版社，2002 张立德，牟季美编著，《纳米材料和纳米结构》，科