微光学器件的气动膜片式微滴喷射制造技术分析-analysis of pneumatic diaphragm micro-drop ejection manufacturing technology for micro-optical devices.docx

华中科技大学博士学位论文 华 中 科 技 大 学 博 士 学 位 论 文 I I 摘 要 近代光学和光电子技术的迅猛发展使光电子仪器及其元件发生了巨大的变化，微 型化和智能化成为实现这一变化的主要发展方向，由此诞生了一门崭新的学科——微 光学(micro-optics)。微光学器件在几乎所有的工程应用领域，尤其在现代国防科技领 域中有重要的应用价值和广阔的应用前景。然而，微光学器件的实际制作水平远远落 后于理论设计水平，加工问题已成为阻碍其迅速发展和应用的巨大障碍。因此，针对 微光学器件制作的高效率、大批量、低成本制造技术是各国学者竞相研究的重要课题。 微滴喷射是一种通过产生微米级的液滴实现微量流体精确分配的技术，属于非接触直 写式制作技术的范畴，作为一种增材式制造方法，它不仅可以节约材料、减少工艺步 骤、提高生产效率，而且具有极好的环境兼容性，并能与计算机控制紧密结合，直接 喷射制作复杂的三维结构，可以满足未来制造技术的发展对环境保护、材料利用率以 及工艺灵活性等诸多方面的要求。 本文提出了一种具有自主知识产权的用于微光学器件制作的气动膜片式微滴喷 射技术。该技术融合了压电喷射装置和气压直接驱动装置的优点，具有结构简单、操 作维修及拆卸方便、驱动功率大以及可靠性优良的特点。本文在构建气动膜片式微滴 喷射平台的基础上，进行了气动膜片式喷射机理及实验研究，所做的工作阐述如下： 首先，以膜片模态、载荷-挠度特性、膜片与液体的固-液耦合关系为理论基础， 运用非平衡伯努利方程和质量守恒方程建立了气动膜片式喷射过程的数学模型，获得 输入气压与膜片变形、腔内压力以及喷嘴出口流体速度的关系，并以此作为优化微喷 射装置结构参数和控制参数的理论依据。 其次，构建了包括微喷射装置、电磁阀驱动系统、压力控制系统、温度控制系统、 图像在线监测系统及精密运动平台的气动膜片式微滴喷射系统。重点研究了玻璃喷嘴 的可控制作技术和基于延时触发的图像采集与处理系统。该系统可用来获取微液滴喷 射形成和沉积成型过程的图像信息，运用数字图像处理方法计算出液滴大小、飞行距 离与速度。 接着，基于 Fluent 6.3 中的 VOF 模型模拟了喷射形成主液滴及卫星滴的全过程， 探讨了微液滴形成的规律。利用喷射平台进行了微液滴喷射的一致性分析，研究了设 备结构参数及控制参数与液滴大小及喷射速度的关系。此外，以不同物理性质的溶液 为对象进行了粘度及表面张力对液体喷射过程影响的实验研究。 然后，利用能量守恒的分析方法对微液滴碰撞基板后的各个过程进行理论研究， 运用反弹阈值公式根据微液滴碰撞前的初始条件判定碰撞后的变形状态。此外，通过 II II 实验方法得到不同物理性质的微液滴在多种润湿性基板上的沉积过程，并分析了液滴 物理性质、液滴与基板的相互作用对微液滴沉积过程的影响，为喷射制作中的沉积过 程提供了理论与实验依据。 最后，利用紫外固化胶完成了直径为 75~400μm 微透镜阵列的制作。对平均直径 为 333.28μm 的 9×9 微透镜阵列进行检测，其尺寸偏差约为 1.6%，表面平均粗糙度约 为 0.243nm，焦距计算平均值为 389.07μm、均匀性误差为 1.6%，利用玻罗板测得焦 距平均值为 482.04μm、均匀性误差为 1%，结果表明微喷射方法用于制作微光学器件 具有很大的灵活性和极大的发展潜力。 此外，附录中还介绍了一种适用于聚合物微光学器件复型制作的微压印技术。分 别探讨了采用接触式压印技术制作光栅和采用非接触式压印技术制作微透镜阵列的 方法。结果表明，微压印技术是完成聚合物微光学器件高效率、大批量、低成本制作 的良好方法，具有较大的研究价值和广泛的应用领域。 关键词：气动膜片式 按需式 微滴喷射 增材式制造 微光学器件 PAGE IV PAGE IV Abstract Along with the rapid development of modern optics and optoelectronic technology, photoelectronic equipment and devices have made significant changes. Miniaturization and intellecturalization have been the main building blocks for realizing the change. A new subject, micro-optics, was born. Micro-optical devices have wide application prospects almost in all engineering applications, especially in