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扫描电子显微镜之 冷场发射、热场发射、肖特基 作者： 驰奔?? COXEM(酷塞目)有限公司 Beijing Office(转载请注明出处) ?????? 目前市场上可以提供的商品化 HYPERLINK /blog/static// \t _blank 扫描电镜大分类，一般而言是以 HYPERLINK /blog/static/42/ \t _blank 电子枪发射方式区分为：场发射和热发射。场发射电子枪的高性能结合 HYPERLINK /blog/static/6/ \t _blank 低像差物镜技术，使得场发射扫描电镜相对普通热发射扫描电镜的性能有了质的飞跃。热发射概念比较简单，是以钨灯丝扫描电镜为主，最常见，也有采用六硼化镧电子枪的扫描电镜。场发射概念相对比较混乱，市场经常出现的名称为： ?????? 冷场发射扫描电镜：就两家日本电子和日本日立，是日本的特色，也是日本人的性格体现，尖（不要理解成奸）的要命！因为不太好用，所以较量重点在于看谁能够为用户主动排忧解难。?????? 超高分辨热场发射扫描电镜：为了和冷场较真，又兼顾热场优越性.很多人认为这是真正可以叫做热场发射的扫描电镜; 但也有业内著名人士云，现在根本没有真正的热场, 理由是肖特基发射电子源，配合双模式物镜（一种模式为半内透镜，一种为无场模式），当采用无场模式时，分辨率马上落到底。??????? 热场发射扫描电镜：前面没有形容词，就是某业内人士所云的并非真正热场发射扫描电镜，但名称可以借一下超高分辨的概念。肖特基Schottky热发射扫描电镜：一般制造商都不肯这么叫，其实这反映其实质肖特基热场发射扫描电镜：实质同上，但借助热场概念。 混乱的原因，是统治话语权的人有意或者无意的一种引导, 本文不存在商业引导，驰奔认为几十年前真正的科学家就已经搞清楚了，而且早已厘清了事实。在很多资料中都可以查到下面的这个图。这才是最正确的回答。 ?????? 但是大多数需要扫描电镜的人并非都熟悉量子物理，稍有必要做一些解释。发射体前电子的势能曲线 V（z），?外加电场 -e I E I z，电子的势能曲线。实际增加外电场的主要途径是减小阴极的曲率半径， HYPERLINK /blog/static/59/ \t _blank 发叉式钨丝阴极为100微米， 六硼化镧阴极约为5微米，肖特基热发射阴极（单晶六硼化镧或者ZrO/W)为小于1微米，冷场发射阴极小于100nm，热场发射阴极在100nm到1μm之间 。1）、外电场可以忽略不计，曲线A，例如 发叉式钨灯丝阴极，六硼化镧阴极? 。 发射电流密度服从，理查德森公式2）、外电场增加，如曲线B,表现为势垒高度降低，因而能够提高发射电流密度，就是所谓的肖特基效应。只有外电场增加到10五次方V/cm以上，肖特基效应才明显。? 例如：六硼化镧热发射阴极， 肖特基热发射阴极（单晶六硼化镧材料，表面覆氧化锆单晶钨扩展的肖特基场发射阴极）? 。发射电流密度服从，理查德森公式3）、进一步增加外电场强度，如曲线C，不仅势垒高度进一步降低，而且势垒的宽度显著变窄，当势垒宽度小于10nm， HYPERLINK /view/.htm \t _blank 量子隧道效应成为发射的主导机制。 这时即使处于室温，大多数电子的动能不足以克服已经降低了的势垒，但可以穿过势垒发射。由于在费米能级处有大量的自由电子，结果发射电流密度很大。所谓的冷场发射，是在极高的肖特基效应条件下，并非使得电子热动能超过势垒高度，而是穿过势垒的量子隧道效应。隧道电流，这种效应也有用在扫描隧道显微镜STM.量子隧道效应发射电流密度服从 Fowler-Nordheim定律。?????? 当外电场I E I 超过10九次方 V/m时， 发射电流密度 10000-A/cm平方。 冷场阴极曲率半径小于100nm，发射面积很小，一般总的发射电流1-10微安????? 冷场发射阴极尖的气体吸附会影响功函数，并引起发射电流波动。提高电子枪室的真空度，10的负8Pa，可以降低气体的吸附速率，但无法避免，对发射尖端进行瞬间加热到2000℃以上（flash），将会有效的脱气。当真空度为10的负7Pa条件下，针尖因为离子轰击很快损坏。下图是日本日立冷场发射扫描电镜电子枪阴极操作说明。8-12小时必需进行Flash脱气恢复，然后需要等待30分钟，发射束流才会相对稳定。?? 冷场发射电子枪阴极，采用310单晶钨，功函数4.2ev，腐蚀成冷场发射阴极针尖，曲率半径小于100nm?4）、热场发射:基于冷场发射，总的发射束流小，稳定度差，气体吸附需要超高真空和每天Flash的一些缺点，采用折中方法的是热场发射，发射体材料为ZrO/W,功函数为2.8ev，蒸发率比W低，发射体