材料现代研究方法04电镜.ppt

第五章 扫描电子显微镜 引言 扫描电子显微镜简称扫描电镜，英文缩写为SEM (Scanning Electron Microscope)。自从1965年剑桥科学仪器公司制造了世界上第一台商用扫描电子显微镜以来，得到了迅速的发展。与光学显微镜相比，扫描电镜大大提高了分辨率和景深（大约是光学显微镜景深的300倍）。扫描电镜是用细聚焦的电子束轰击样品表面，通过电子与样品相互作用产生的二次电子、背散射电子等对样品表面或断口形貌进行观察和分析。现在SEM都与能谱仪（EDS）组合，可以进行成分分析。所以，SEM也是显微结构分析的主要仪器，已广泛用于材料、冶金、矿物、生物学等领域。 5.1 扫描电镜的工作原理 扫描电镜的工作原理如下图，由电子枪发射出来的电子束（直径为50微米），在加速电压的作用下经过磁透镜系统会聚，形成直径为5nm的电子束，聚焦在样品表面上，在第二聚光镜和物镜之间偏转线圈的作用下，电子束在样品上做光栅状扫描。电子和样品相互作用，产生信号电子。这些信号电子经探测器收集并转换成光子，再通过电信号放大器加以放大处理，最终成像在显示系统上。扫描电镜的工作原理与光学显微镜不同：在光学显微镜下，全部图象一次显示，是“静态的”；而扫描电镜是把来自二次电子的图像信号作为时像信号，将一点一点的画面“动态”地形成三维的图像。 5.2 扫描电镜成像的物理信号 扫描电镜成像所用的物理信号是电子束轰击固体试样而激发产生的。一束细聚焦的电子束轰击试样表面时，入射电子与试样的原子核和核外电子将产生弹性或非弹性散射作用，并激发出反映试样形貌、结构和组成的各种信息，有：二次电子、背散射电子、阴极发光、特征X 射线、俄歇过程和俄歇电子、吸收电子、透射电子等。 1. 背散射电子 背散射电子是被固体样品中原子反射回来的一部分入射电子，又叫反射电子或初级背散射电子。它的能量损失较小，能量值接近入射电子的能量。这种电子是入射电子深入到样品内部后被反射回来的，所以它在样品中产生区域较大（约为1μm）。背散射电子像与样品的原子序数有关，与样品的表面形貌也有一定关系，所以可以用双探测器获得背散射电子的组成像和形貌像。 2. 二次电子 二次电子是被入射电子轰击出来的样品核外电子，又称为次级电子。二次电子的能量比较低，一般小于50eV；背散射电子的能量比较高，其约等于入射电子能量E0。从样品得到的二次电子产率既与样品成分有关，又与样品的表面形貌有更密切的关系，所以它是研究样品表面形貌最佳的根据，通常所说的扫描电子像就是指二次电子像。 3. 特征X射线 入射电子打在核外电子上，把原子的内层电子（如K层）打到原子之外，使原子电离，邻近壳层的电子（如L层）填充电离出的电子穴位，同时释放出X射线，该X射线的能量为两个壳层的能量差。 ΔE=EK-EL 由于各元素的各个电子能级能量为确定值，所以此时释放出的X射线叫特征X射线。分析特征X射线的波谱和能谱就可以研究样品的元素和组成成分。 4. 俄歇电子 样品原子中的内层（如K层）电子被入射电子激发时样品发生了弛豫过程，多余的能量除发射特征X射线外，还可以使较外层（如L层）的两个电子相互作用后，一个跳到内层填充空穴，另一个获得能量离开原子成为俄歇电子。不同的元素的俄歇电子能量有不同的特定数值，分析俄歇电子能谱就可以确定样品组成元素。 5. 阴极发光 有些固体受电子束照射后，价电子被激发到高能级或能带中，被激发的材料同时产生弛豫发光，这种光称为阴极荧光，其波长是红外光、可见光或紫外光，也可用来作为信号电子。用它可以研究矿物中的发光微粒、发光半导体材料中的晶格缺陷和荧光物质的均匀性等。 各种物理信号的作用深度 从图中可以看出，俄歇电子的穿透深度最小，一般穿透深度小于1nm，二次电子小于10nm。 这就是说不同的物理信号来自不同的深度和广度，这样，入射束有效束斑直径随物理信号不同而异，分别等于或大于入射斑的尺寸。因此，用不同的物理信号调制的扫描像有不同的分辨本领。二次电子扫描像分辨本领最高，约等于入射电子束直径，一般为6~10nm，背散射电子为50~200nm，吸收电子和X射线为100~1000nm。 5.3 扫描电镜的结构 扫描电镜由五个系统组成，各系统的主要作用简介如下。 1. 电子光学系统 电子光学系统即镜筒，由电子枪、聚光镜、物镜和样品室等部件组成。它的作用是将来自电子枪的电子束聚焦成亮度高、直径小的入射束(直径一般为10nm或更小)来轰击样品，使样品产生各种物理信号。 2. 扫描系统 扫描系统由扫描发生器和扫描线圈组成。它的作用是使入射电子束在样品表面扫描