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三坐标测量机测球直径的校正和误差分析 　　摘要：三坐标测量机（CMM）以其测量精度高、稳定性好、操作方便快捷的特点广泛的被应用。但是在使用三坐标测量机测量有些几何要素时，有时测量准确度不是很高。文章对坐标测量原理进行简述，重点分析三坐标测量机测球直径的校正与误差。 　　关键词：三坐标测量机；球直径；误差 　　中图分类号：TH721 文献标识码：A 文章编号：1000－8136（2011）12－0013－02 　　 　　1坐标测量的原理 　　任何形状都是由空间点组成，所有的几何量测量都可归结为空间点的测量，因此精确进行空间点坐标的采集，是评定任何几何形状的基础。 　　坐标测量机的基本原理是将被测零件放入它已允许的测量空间，精密地测出被测零件表面的点在空间3个坐标位置的数值，将这些点的坐标数值经过计算机数据处理，拟合形成测量元素，如圆、球、圆柱、圆锥、曲面等，经过数学计算的方法得出其形状、位置误差及其他几何量数据。 　　用CMM进行零件测量，理论上，测头的球半径应为零，测头和工件接触为测头中心。得到的数据是测头中心的坐标值，而非测头与被测件接触点的坐标值。但实际上，测头有一半径，从而需要对测头直径进行校正，即进行测头球心轨迹曲面域和测头半径补偿。 　　2三坐标测量机测量的主要步骤 　　2.1测头选择 　　测头部分是测量机的重要部件，测头根据其功能有：触发式、扫描式、非接触式（激光、光学）等。触发式测头是使用最多的一种测头。 　　一般的测头头部都是由一个杆和测球组成。最常见的测球的材料是红宝石，因为红宝石是目前已知的最坚硬的材料之一，只有极少的情况不适宜采用红宝石球。高强度下对铝材料制成的工件进行扫描时，选择氮化硅较好；对铸铁材料工件进行高强度扫描，推荐使用氧化锆球。 　　为保证一定的测量精度，在对测头的使用上，需要注意： 　　（1）测头长度尽可能短：探针弯曲或偏斜越大，精度将越低。因此在测量时，尽可能采用短探针。 　　（2）连接点最少：每次将探针与加长杆连接在一起时，就 　　额外引入了新的潜在弯曲和变形点。因此在应用过程中，尽可能减少连接的数目。 　　（3）使测球尽可能大：测球直径较大可削弱被测表面未抛光对精度造成的影响。 　　2.2测球直径的校正方法 　　一般来说，三坐标测量机的测头校正较为简单，最先校正的测针作为测针组坐标的原点。如图1所示，用测尖对标准球进行测量（通常测5点），在球极上测一点，球赤道面上均匀测4点。对于高精度的测量，采用9点，即在球极上测一点，球赤道面上均匀测4点，球极和球赤道面之间的中间面上再采4点。 　　通过对标准球的测量，测球半经得到了补偿，如图2所示，测头中心值为P（X，Y，Z），接触点值为P′（X′，Y′，Z′），测点坐标值从P到P′进行了补偿。 　　图1测头校正图2侧头半径补偿示意图 　　2.3测头直径校正的误差分析 　　测头校正是保证测量精度的基础，在测头校正过程中引起误差的主要因素有：测杆的弯曲变形、测头校正时触测点位置、测力、触测速度和探测距离等。测力越小，精度越低。应选用一定的测力和测速进行测量，同时选用合适的探测距离，以保证测量精度。这里就测杆的弯曲变形和测头校正时触测点位置对测头半径补偿误差作详细讨论。 　　2.3.1测头校正时触测点位置对测头半径补偿误差的影响 　　如图3所示，测针轴线与被测面法线的夹角α越大，误差越大。 　　图3补偿误差计算示意图图4实际测量产生倾斜 　　误差： 　　则 。 　　可见，当测针轴线与被测面法线的夹角α＝0时，测球半径补偿误差Δ也为0。 　　在测头校正测量时，应尽可能使测针轴线与被测面垂直，使测头沿着被测表面的法线方向移动，以减小测球半径的补偿误差。这点可以从表1的几组校正及测量数据的对比中可以看出，数据是在不同位置用同一测针测量对比的结果。 　　表1不同位置标准球直径的测量结果 　　测针长度 　　/ mm 偏差 　　/ mm 测头直径 　　/ mm 标准球直径 　　的测量值 / mm 触测点夹角 / ° 　　70 0.0010 2.9738 24.9990 α＝0 　　 0.0022 2.9738 25.0002 α＝10 　　 0.0050 2.9738 25.0030 α＝18 　　由表1可见，校正时测头在不同的触测位置测量会产生不同的结果，当测针轴线与被测面法线的夹角α＝0时，测量结果最好，而在其他位置测量结果较差。 　　2.3.2探针长度对测头半径补偿误差的影响 　　测针在测量时，使用的测杆越长，则测头产生的弯曲和偏斜就越大。由图4可知，因为实际测量时，除了测头体安装时产生的轴间平移，还有轴（测杆）会发生倾斜，所产生的测头半径补偿误差Δ＝Lsinα（L为测杆长