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工厂防静电基本要求静电防护的基本原则a抑制静电荷的积聚b
防静电知识讲座 日常生活中的静电 从地毯上走过,抓住门的把手,梳头,脱毛线衣,火花产生了。这个现象就是人们所知的静电放电(ESD, electrostatic ischarge) 。人类通过日常活动可产生高达25,000V的静电放电。人类手的神经可感觉到低至大约3,000V的静电放电。只需要10V的ESD就可毁坏今天IC内部的某些极小零件和迹线。其结果是,虽然ESD看不见、听不到或感觉不到,但可重大地损伤或毁坏电子产品。 人类对静电的认识 静电学是电学中最古老的学科 据有资料记载,古希腊哲学家塔勒斯(Thales)公元前640-546年在研究天然磁石的磁性时发现用丝绸、法兰绒摩擦琥珀(Amber)之后也有类似于磁石能吸引轻小物体的性质。电这个词起源于希腊语(琥珀) 二十世纪中后期静电危害震惊世界 美国从1960年到1975年由于静电引起的火灾爆炸事故达116起。 1969年底在不到一个月的时间内荷兰、挪威、英国三艘20万吨超级油轮洗舱时产生的静电引起相继发生爆炸以后引起了世界科学家对静电防护的关注。 我国在石化企业发生了30多起较大的静电事故,其中损失达百万元以上的有数起。 高科技工业生产中静电危害的形成 高工业生产的高速发展以及高分子材料的迅速推广应用,一些电阻率很高的高分子材料如塑料,橡胶等的制品的广泛应用以及现代生产过程的高速化,使得静电能积累到很高的程度, 另一方面,静电敏感材料的生产和使用,如轻质油品,火药,固态电子器件等,工矿企业部门受静电的危害也越来越突出,静电危害造成了相当严重的后果和损失。 静电放电防护意义 静电放电的培训人员 代表性的培训内容 静电起电定义 金属与金属的接触起电 摩擦起电的实质 静电是如何产生的 接触分离起电(本质) 摩擦起电 摩擦实质上是一种接触分离造成正负电荷不平衡的过程 工作时常接触到的物体有: 桌面、地板、椅子、衣服、纸张、卷宗、包装材料、流动空气。 1.3静电带电序列 感应静电起电物体不接触也能起电 当带电物体A接近不带电物体C时 在导体C的a端和b端分别感应出负电和正电 A C B 静电感应引起放电 其他起电方式 热电起电 压电起电 断裂起电 电解带电 亥姆霍兹层 喷射起电等 人活动产生的静电电压(参考数据) 器件所能承受的静电电压 生产场所中的静电危害源 静电是如何产生的小 结 任何两个不同材质的物体接触后现分离即可产生静电。 摩擦的实质是一种接触分离过程。 当带电物体接近不带电物体时会感应静电。 大部分器件的静电破坏电压都在几十至几百伏,而在干燥的环境中人活动所产生的静电可达几千伏到几万伏。 静电放电造成火箭飞行失败统计表 电子工业中静电问题的产生 静电对电子产品损害的四种形式 吸尘(缩短寿命) 放电破坏(完全破坏) 放电产生热(潜在损伤) 放电产生电磁场(电磁干扰) 静电对电子产品损害的四个特点 隐蔽性:人体感知的静电放电电压2-3KV 潜在性:操作后性能没有明显的下降 随机性:从一个元件产生以后,一直到它损坏以前的所有过程 复杂性:分析困难,掩盖了失效和真正原因 静电对电子产品损害的特点 静电对电子产品损害的特点 3. 随机性 电子元件甚么情况下会遭受静电破坏呢?可以这么说,从一个元件产生以后,一直到它损坏以前,所有的过程都受到静电的威胁,而这些静电的产生也具有随机动性性。其损坏也具有随机动性性。 4.复杂性 ?静电放电损伤的失效分析工作,因电子产品的精、细、微小的结构特点而费时、费事、费钱,要求较高的技术并往往需要使用扫描电镜等高精密仪器。即使如此,有些静电损伤现象也难以与其他原因造成的损伤加以区别,使人误把静电损伤失效当作其他失效。这在对静电放电损害未充分认识之前,常常归因于早期失效或情况不明的失效,从而不自觉地掩盖了失效的真正原因。所以静电对电子器件损伤的分析具有复杂性。 静电放电造成微电子电路损伤的模式 金属布线与扩散区(或多晶)接触孔产生火花,使金属和硅的欧姆接触被破坏。 使节点的温度超过半导体硅的熔点(1415℃)时,使硅熔解,产生再结晶,造成器件短路。 金属化电极和布线熔解、“球化”,造成电路开路。 大电流流过PN结产生焦耳热,使结温升高,形成“热斑”或“热奔”,导致器件损坏。 静电放电引发的瞬时大电流(静电火花)引燃引爆易燃、易爆气体混合物或电火工品,造成意外燃烧、爆炸事故。 静电放电使人体遭受电击引发操作失误造成二次事故、静电场的库仑力作用使纺
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