1影响tem样品制备质量的因素-中科院物理所王凤莲老师.pdfVIP

影响TEM样品制备质量的因素 影响TEM样品制备质量的因素 中国科学院物理研究所 2011.4.20桂林 影响TEM样品制备质量的因素 影响TEM样品制备质量的因素 王凤莲 李莹 1.与仪器相关的因素 2.与样品相关的因素 2 1.与仪器相关的因素 仪器的真空度 离子束电压 离子束电流（氩气的流量） 离子束的入射角 离子枪的对中 3 Gatan离子减薄仪 PIPS 691 PIPS 691 PIPS 691 Model 600 4 仪器的真空度 真空泵的抽气速率 样品室的清洁 5 样品减薄过程中处于氩气的不断充入， 电离，以氩离子状态打向样品，最后连 同被轰击下来的物质一起被泵抽走，这 样一个动态平衡过程，如果设备抽气速 率低，残存的气体分子较多，势必要与 高速飞行的氩离子发生碰撞，使其产生 散射，损失能量，难于保持较高的真空 度。为提高薄化效率，样品室真空度应 保持在较高水平。 6 离子束电压 在离子减薄过程中样品表面损伤几乎是不 可避免的。加速电压高，离子束能量大， 减薄速度快，样品的损伤大， 对不同材质的样品采用不同的加速电压， 如某些坚硬耐磨料材料可采用较高电压， 在样品减薄的不同阶段采用不同的加速电 压。 低能离子枪的应用 低能离子枪是样品表面修复的理想工具。 7 离子束电流（氩气的流量） 束流：标志着从阴极飞向阳极单位 面积上氩离子的密度。 8 离子束的调节 (PIPS) 调节气流控制离子束形状的变化 离子束宽度大约在1.2mm——1.5mm为好 PIPS的离子束设计模式：单束调制和双束调制 9 离子束的入射角 用离子减薄制备薄膜样品时，离 子束与试样表面的夹角是一个非 常重要的参数，它直接影响着样 品的质量和减薄速率，薄化速率 随着角度的增加而增加，薄区却 随着角度的增加而减少，较大的 夹角还会使薄区表面凹凸不平， 得不到高质量的薄膜。 10 小角度离子减薄的优点 离子束入射角度小，可获得厚度 均匀、变化缓慢的大面积薄区； 可以对材料的衬底、多层外延膜 及器件的微结构特征做出整体评 价。 小角度离子减薄可以避免择优溅 射的发生。不需要冷台也可以制 备热敏感材料。