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压电陶瓷Z向偏摆平台.PDFVIP

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  • 2018-11-18 发布于天津
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压电陶瓷Z向偏摆平台.PDF

    压电陶瓷Z向偏摆平台.PDF

    压电陶瓷Z 向/偏摆平台 高动态，带大通光孔径 P-518 • P-528 • P-558  三轴Z 向和偏摆平台/ 单轴Z 向位移台  垂直偏摆角达200微米/2毫弧度，闭环 （开环达240 微米/2.4 毫弧度）  并联运动实现更快的响应时间和更高的 多轴精度  零间隙，高精度柔性铰链导向系统

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