用于能量收集器的不锈钢基犘犣犜厚膜制备研究.PDFVIP

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第 卷第 期 压 电 与 声 光 40 4 Vol.40No.4         年 月 2018 8 PIEZOELECTRICS&ACOUSTOOPTICS Au.2018 g 文章编号: ( ) 10042474201804060404    用于能量收集器的不锈钢基犘犣犜厚膜制备研究 崔 林,王士军,陈 伟,张临松     (山东理工大学 机械工程学院,山东 淄博 255049) 摘 要:采用了溶胶 凝胶技术在不锈钢基体上制备了厚为 、结构致密的锆钛酸铅( )厚膜。研究了  10 m PZT      μ 不同退火条件对厚膜结晶状况的影响, 射线衍射分析表明,采用 退火处理 后得到了 厚膜的纯 X 700℃ 20min PZT 2 钙钛矿相结构。厚膜的电学性能测试结果显示,厚膜的剩余极化强度( )为 / ,矫顽场强( )为 / 犘r 7.5 Ccm 犈c 7.2V μ ,压电常数( )为 / 。设计制作了长 、宽 的压电悬臂梁结构振动能量收集器。输出性能测 m 犱 73 CN 20mm 4mm μ 33 p 试结果显示,振动频率为 95Hz,采集器输出电压最高,输出电压值为 862mV。 关键词:锆钛酸铅( );厚膜;溶胶 凝胶法;电学性能;振动能量收集器 PZT  中图分类号: ; 文献标识码: : / TN384TM215 A 犇犗犐10.11977 .issn.10042474.2018.04.029         j 犐狀狏犲狊狋犻犪狋犻狅狀狅狀犉犪犫狉犻犮犪狋犻狅狀狅犳犛狋犪犻狀犾犲狊狊犛狋犲犲犾犅犪狊犲犱犘犣犜 犵 犜犺犻犮犽犉犻犾犿犳狅狉犈狀犲狉 犎犪狉狏犲狊狋犲狉 犵狔 , , , 犆犝犐犔犻狀犠犃犖犌犛犺犻狌狀犆犎犈犖犠犲犻犣犎犃犖犔犻狀狊狅狀 犼 犵 ( ,

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