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新型卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜机 （腾胜真空技术工程有限公司，广东 肇庆 526060） 摘 要：作为光学镀膜设备中的新机型──卧式离子辅助电子束蒸发真空镀膜 设备,是一种适用于圆柱型、圆锥型等带对称回转轴的工件外表面镀光学膜的真 空镀膜设备。它解决了目前箱式光学镀膜机无法镀制这类工件的难题。 关键词：卧式；离子辅助电子束蒸发；直枪；光学膜 目前市场上的光学真空镀膜设备基本为钟罩式或箱式的镀膜设备,均属于 立式结构。这种设计对于镀制平面镜片或凹面镜片来说，通过采用拱形球面夹 具就可以保证镀膜均匀度。对于镀制杯型工件的内表面，通过采用公自转行星 夹具也可以保证镀膜均匀度。但是对于镀制象圆柱型、圆锥型等带对称回转轴 的工件外表面来讲，就无能为力了。另外，对于镀制较大面积的工件来说立式 镀膜机也不太合适。主要因为立式镀膜机存在以下的一些缺点： 1、工件盘呈拱型,工件盘难以设计成装载圆柱状或管状工件的公自转机构, 因而对此类工件的外表面镀膜存在极大困难,难以实现工件表面的均匀镀膜