双斜波法测量微小电容电路研究与设计.docVIP

双斜波法测量微小电容电路研究与设计 　　文章编号： 1005??5630(2014)02??0100??04 　　收稿日期： 2013??08??29 　　基金项目： 黑龙江省科技厅自然科学基金项目(F201108)。 　　摘要： 微小电容的测量技术成为电容传感器技术被广泛应用的关键,针对目前小电容测量电路存在的问题,提出一种基于测量三角波斜度的小电容检测方法,采用PIC单片机为主的测量电路,电容检测分辨率可达0.005 pF。此小电容测量系统具有高精度和稳定度、测量范围广、测量时间短的特点,适合于实时可视化测量。 　　关键词： 微小电容; 三角波斜度; 宽范围 　　中图分类号： TB 125文献标志码： Adoi： 10.3969/j.issn.1005??5630.2014.02.002 　　Research and design of double oblique wave method for 　　small capacitance measurement circuit 　　HAN Jian1,2, HE Xuelan1,2, HUANG Ying1,2 　　(1.College of Electronic Science, Northeast Petroleum University, Daqing 163318, China; 　　2.The University??Enterprise RD Center of Measuring and Testing Technology Instruments and 　　Meters Engineering in Heilongjiang Province, Northeast Petroleum University, Daqing 163318, China) 　　Abstract： Small capacitance measurement known as the key of the capacitance sensor technology is widely used. Aiming at the problems of small capacitance measurement circuit, this paper proposes a small capacitance detection method based on measuring the triangle wave slope. Using PIC microcontroller measuring circuit, capacitance detection resolution is 0.005 pF. The small capacitance measuring system with high accuracy and stability, wide measurement range, short measurement time, is suitable for real??time visualization measurement. 　　Key words： small capacitance; triangle wave slope; wide measurement range 　　引言电容式传感器由于高灵敏度、响应快、无需接触测量等优点被广泛应用于各种测量和控制系统中,用来测量各种变化的参数,如液位计、压力表、加速度计、精密定位和表面粗糙度检测等［1］。在这些应用中电容通常的变化范围为0.1～100 pF,因此需要有一种小电容检测电路,小电容测量方法有许多种,但实时准确测量还是当前技术的难点。目前的测量方法有共振法、电桥法、相位法等,在共振法中,因为LC电路受谐振频率所驱动,所以信噪比与品质因数成比例［2］;虽然电桥法精度高,但其价格昂贵而且非线性输出,尤其是在测量小电容值时,还易受杂散电容的影响;相位检测法是一种经济有效的方法,但是很难选取一个合适的电阻值以获得最大的灵敏度。针对以上情况,本文介绍一种低成本、高灵敏度、测量范围大的小电容检测电路［3］。1小电容检测电路原理根据当前的检测信号特点,设计了基于双斜波原理的小电容测量电路，其原理框图如图1所示。该测量电路以基于积分电容上电压值与参考电压值比较原理的信号调理电路取代了以小电容检测芯片PS021为主的信号调理电路,它主要由比较器、电源管理模块、20M高速晶振、PIC单片机和USB转换接口组成［4］。由分立元件的搭建取代了集成芯片PS021,定时器对积分电容的充放电时间进行计数,得到计数值与电容值的关系式,从而得到电容值的大小。电容传感器测量电路如图2所示,PIC单片机提供时序