多晶硅还原炉电源系统一体化解决方案.PDFVIP

多晶硅还原炉电源系统: 维普资讯 多晶硅还原炉电源系统的一体化解决方案 多晶硅还原炉 电源系统 的一体化解决方案 四川英杰 电气有限公司 摘 要 ：多晶硅是生产环保新能源一一太阳能光伏电池的最基础的材料。本文首先概述 了多晶硅生产工艺及其实现方法 然后着重描述 了多晶硅还原炉电源系统的一体化解决方案以及针对用户的配套方案。 关键词：多晶硅还原炉；电源系统；多晶硅生产工艺；太阳能光伏电池；一体化解决方案 中圈分类号 ：TP303~．3 文献标识码：B 文章编号 ：1817—0633(2008)09—0055—03 IntegratedSolutiontothePowerSupplySystem ofPolysiliconReducingFurnace SichuanInjetElectricCo．，Ltd． Abstract：PolysiliconistheprimarymaterialtoproducesolarPV (photm，ohaic)battery，anew environment—friendlyenergy soarce．Thispaperfirstsummarizesthepolysiliconproductiontechnologyandthedevelopmentmethodofit，andthenfocusesonthe descriptionoftheintegratedsolutiontopolysiliconreductionfurnaceandthesupposingschemefortargetusers． Keywords：PolysilieonReductionFurnace；PowerSupplySystem；PolysiliconProductionTechnology；SolarPV (photovohaic) Battery；IntergatedSolution 1引言 炉内，用氢将三氯氢硅还原成硅。炉内有不透明的石英钟罩和用 众所周知 ，硅材料是半导体：[业，电子信息产业 ，太阳能光 细硅芯或钽管制成的发热体。细硅芯是用超纯硅在特制的硅芯 伏电池产业的最重要、最基础的功能性材料。而在整个硅材料产： 炉 内制成。在进行化学气相沉积之前，由于硅在常温时电阻率很 业链中，多晶硅是最重要的一环，也是制约我国硅产业发展的主 高 ，因此硅芯必须在石英罩外用 电阻加热至 300％或用几千伏的 要瓶颈之一。多晶硅作为制备单晶硅的唯～原料和生产太阳能 高压电启动。经过提纯的氢气在挥发器将三氯氢硅 自炉底带人 电池的材料，随着近年来全球单晶硅生产迅速增长和全球光伏 炉内，于 11oo℃左右进行还原反应，使硅沉积在发热体上。由于 发电的环保能源的旺盛需求 ，使得多晶硅市场异常火爆。 诸多原因使硅的沉积速度较慢 ，一般不超过 0．5mmh／，生产直径 日前多晶硅生产技术主要有 ：改 良西门子法 、硅烷法和流化 为 150—200mm 的多晶硅棒需要一周乃至更多时间。 床法，从多晶硅生产的主要工艺技术的现状和发展趋势来看 ，改 2_2工艺实现 的方法 良西门子工艺能够兼容电子级和太阳能级多晶硅的生产，以其 基于J二述 艺可知，多晶硅生产首先需要启动，然后再进行还 技术成熟、适合产业化生产等特点 ，仍是 目前多晶硅生产普遍采