半导体芯片制造企业的供电需求分析及解决措施_刘创华.pdf

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2018-08-28 发布于广西
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电工技术电气设计　半导体芯片制造企业的供电需求分析及解决措施１２１，，刘创华刘喆刘莹　　（，；，）国网天津市电力公司天津国网天津城南供电分公司天津１．３０００１０２．３００２００摘要：，，针对半导体芯片制造企业极易受到电压暂降等电压质量问题的干扰从半导体制造工艺和关键设备出发　，，，。分析半导体芯片制造企业的供电需求介绍其典型供电方案并提出改进意见供相关运行管理人员参考借鉴关键词：；；；电压质量电压暂降芯片制造供电方案中图分类号：ＴＭ７２７．３ＤｅｍａｎｄＡｎａｌｓｉｓａｎｄＳｏｌｕｔｉｏｎｓｏｆＰｏｗｅｒＳｕｌｏｆＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ　ｙ　　　　　ｐｐｙ　　ＣｈｉＭａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎＥｎｔｅｒｒｉｓｅｓｐｇｐ　　１２１，，ＬＩＵＣｈｕａｎｈｕａＬＩＵＺｈｅＬＩＵＹｉｎ　　　ｇｇ（，，；１．ＳｔａｔｅＧｒｉｄＴｉａｎｉｎｅｌｅｃｔｒｉｃＰｏｗｅｒＣｏｍａｎＴｉａｎｉｎ３０００１０Ｃｈｉｎａ　　ｊ　　　ｐｙｊ　，，）２．ＳｔａｔｅＧｒｉｄＴｉａｎｉｎＣｈｅｎｎａｎｅｌｅｃｔｒｉｃＰｏｗｅｒＣｏｍａｎＴｉａｎｉｎ３００２００Ｃｈｉｎａ　　ｊ　ｇ　　　ｐｙｊ　：ＡｂｓｔｒａｃｔＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｃｈｉｍａｎｕｆａｃｔｕｒｉｎｅｎｔｅｒｒｉｓｅｓａｒｅｌｉａｂｌｅｔｏｂｅｄｉｓｔｕｒｂｅｄｂＶｏｌｔａｅｕａｌｉｔｒｏｂｌｅｍｅ．．ｖｏｌｔａｅ　　　　　　　　