微流控芯片模具化学蚀刻制造工艺研究_王亚坤.pdfVIP

DOI:10.19356/j.cnki.1001-3997.2015.12.070 机械设计与制造 第12 期 250 Machinery Design ＆ Manufacture 2015 年12 月 微流控芯片模具化学蚀刻制造工艺研究 王亚坤，郭钟宁，郑文书，刘祥发 （广东工业大学 机电工程学院，广东广州 510006） 摘 要：为制造微流控芯片模具实现微流控芯片的大批量生产，采用三酸型蚀刻液对图案掩膜的P20 模具钢进行蚀刻 加工。观测蚀刻的微流道形状和尺寸，分析蚀刻深度、流道宽度、蚀刻因子和面粗糙度等随加工时间的变化规律。结果