芯片的制造过程_解振华.pdfVIP

机机电电工工程程技技术术 年年第第 卷卷第第 期期 生产工艺与管理 !!## $$$$ %%%% 芯片的制造过程 解振华，黄蕊慰 （广东工业大学机电学院， 广东广州 %’ ） 摘要：芯片制造已经成为国民经济发展的关键，我国的芯片产业已显示出设计、制造和封装三业并举的局面，集成电路技术已 进入了同行业的国际主流技术领域。本文介绍了芯片从开始单晶制作到最后芯片封装的主要工艺过程。 关键词：集成电路；芯片；单晶；封装；工艺 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： ()* + %’,’#’! -!#. %%,*’,# % 前言 向上提拉籽晶杆，并 国内芯片制造和技术方面，已经形成了以上海和