基于SP效应中波量子阱红外探测器光栅优化.docVIP

基于SP效应中波量子阱红外探测器光栅优化 　　摘要：从建模、仿真结果出发，加入表面等离激元效应，运用时域有限差分算法（FDTD），研究中波量子阱红外探测器（QWIP）的近场效应和光耦合效率.重点研究在SP效应下QWIP二维光栅的最优参数.计算结果表明，对于4 μm的入射光，当光栅周期为P=1.3 μm，栅孔深度h=0.4 μm，栅孔的占空比为d=0.8时，X-Y平面内Z方向电场值最大，光栅的耦合效率最高. 　　关键词： 　　量子阱红外探测器； 表面等离激元效应； 二维光栅； 耦合效率 　　中图分类号： 　　TN 362 　　文献标志码： A 　　Grating Optimization of QWIP for Midwave Based on Surface Plasmon 　　NI Lu1， TIAN Li2 　　（1.School of Electrical Engineering and Automation， Henan Polytechnic University， 　　Jiaozuo 454000， China； 2.Henan Pingyuan Optics Electronics Co.， Ltd.， jiaozuo 454000， China） 　　Abstract： 　　A study was made on the near field and coupling efficiency of midwave quantum well infrared detectors under the surface Plasmon effect through modeling and simulation.The optimal parameters in the SP effect of twodimensional grating can be obtained using the FDTD algorithm.Calculation results show that the electric field along the Z direction reached its maximum in the XY plane when the grating parameters are taken as P=1.3 μm、h=0.4 μm and d=0.8. 　　Keywords： 　　QWIP； SPPs； 2D grating； coupling efficiency 　　0引言 　　红外探测器是一种对于红外辐射进行高灵敏度感应的光电转换器件，是红外探测系统中的核心元件.量子阱红外探测器（QWIP）自从20世纪80年代被验证后，得到了广泛积极的研究[1].目前国外量子阱红外焦平面器件发展已趋成熟，中等规模256×256、320×240、512×480和640×512规格的单色焦平面器件以及相关热成像系统在美、德和法国等先进国家已商品化[2].随着量子阱红外探测器（QWIP）的快速发展，以GaAs为基础的QWIP在材料生长和工艺加工方面已十分成熟，可以形成高灵敏度、低功率、低成本和高均匀性的红外成像系统，因此成为第三代红外探测器的优选技术方案之一[3-7].但是，由于QWIP对正入射的红外光不敏感，在双色焦平面器件中必须制作耦合光栅来实现对正入射红外光的探测，而且根据量子阱子带跃迁选择定则，只有电场方向平行于量子阱生长方向的光波才能激发子带跃迁，而耦合光栅过低的耦合效率使得焦平面器件的量子效率及探测灵敏度较低，这在很大程度上限制了QWIP性能的进一步提升[8-10]. 　　因此，为了提高器件的量子效率和探测灵敏度，可以采用表面等离激元效应（SPPs）来提高QWIP对正入射光的吸收效率.表面等离激元是光与金属表面的自由电子相互作用所引起的一种电磁波模式.在这种相互作用中，自由电子在与其共振频率相同的光波照射下发生集体震荡.研究表明，采用SP效应对中波QWIP整体性能的提高有很大的意义[11-13]. 　　本文采用三维时域有限差分算法（3D-FDTD），详细分析了在SP调制下中波量子阱红外探测器中光栅的耦合效率，并给出光栅的优化参数. 　　1三维仿真建模 　　FDTD算法是把Maxwell方程组在时间和空间领域上进行差分化，对空间领域的电场和磁场进行交替计算，通过时间领域上的更新来模仿电磁场的变化，达到计算的目的，能够直接模拟场的分布，精度比较高，是目前使用比较多的数值模拟的方法之一[14].本文采用的量子阱红外探测器的模型如图1所示，从顶部至底部分别为光栅层（栅孔深度为h）、n-GaAs上接触层衬底、QWIP有源区、n-GaAs下接触层衬底、GaAs衬底.红外光自底部垂