化学气相淀积跟薄膜工艺.pdfVIP

/ 化学气相淀积与薄膜工艺 Chemical Vapor Deposition Thin Film Technology 孟广耀 Tel:3603234 Fax:3607627 mgym@ 中国科学技术大学材料科学与工程系 固体化学与无机膜研究所 http://3/ PDF created with FinePrint pdfFactory Pro trial version 5 淀积过程动力学 v 5.1化学气相 积过程动力学概述 v 5.2淀积速率的实验研究 v 5.3实验参量对过程控制机制的作用 v 5.3.1淀积温度 v 5.3.