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基于超分辨图像复原显微圆孔孔径测量方法 　　摘要： 为提高圆孔的光学显微测量准确性，研究了基于超分辨图像复原的显微圆孔孔径测量方法。该方法通过超分辨图像复原处理圆孔显微图像，提高了传统光学显微系统对圆孔成像的分辨率，确定了以超分辨复原图像灰度值为0.399作为圆孔物理边缘判据，实现对圆孔边缘的准确探测。理论分析表明该方法可准确测量微米级及以上直径圆孔。核孔膜孔径测量实验中，由二值化图像得到孔径测量结果为6.35 μm（测量不确定度为0.08 μm），与扫描电镜测量结果6.268 μm（测量不确定度为0.083 μm）相符，测量误差仅0.08 μm。该技术有助于实现对圆孔形状的快速、准确在线测量。 　　关键词： 显微测量； 超分辨图像复原； 圆孔边缘判据； 核孔膜 　　中图分类号： O 439 文献标志码： A doi： 10.3969/j.issn.1005-5630.2016.05.002 　　文章编号： 1005-5630（2016）05-0383-05 　　引 言 　　数字显微图像测量是重要的微结构横向尺寸非接触测量方法[1]。目前用于显微测量的主要设备有扫描隧道显微镜、电子显微镜、原子力显微镜、光学共焦显微镜和普通光学显微镜。其中，扫描隧道显微镜、原子力显微镜、电子显微镜横向分辨力具有纳米级横向分辨力，其图像能够直接用于微结构的横向尺寸测量，但这些设备造价昂贵