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复合薄膜摩擦学性能实验研究 　　摘要：文章所使用的MoS2/WS2复合薄膜是通过MoS2与WS2双靶共溅射的方法制备出来的，同时使用了X-射线衍射仪（XRD）、扫描电子显微镜（SEM）、能谱仪（EDS）对薄膜微区的化学成分和形貌进行分析。实验发现，MoS2/WS2复合薄膜属于纳米级复合膜，膜表面由大小为50～100nm的颗粒组成，与纯MoS2薄膜（200nm），其颗粒较小；因而，复合薄膜的致密性比纯MoS2薄膜更好。在室温大气条件下，MoS2/WS2复合薄膜的摩擦学性能比纯MoS2薄膜更优越。 　　关键词：MoS2/WS2复合薄膜；磁控；摩擦学性能；实验研究 文献标识码：A 　　中图分类号：TG174 文章编号：1009-2374（2015）24-0035-02 DOI：10.13535/j.cnki.11-4406/n.2015.24.017 　　1 概述 　　近年来，科学技术的不断发展使得人们对润滑材料的需求日益增加，由于在高温、低温、重载、高真空、有放射性以及油润滑失效等特殊工况下，摩擦副难以工作；因此，对润滑剂提出了很苛刻的要求；而传统的油脂润滑无法满足。固体润滑剂是固体润滑材料主要类型，与传统的油脂润滑相比，可在高温、低温、重载、高真空、有放射性以及油润滑失效等特殊工况下工作。 　　MoS2薄膜作为固体润滑剂，已被广泛应用在真空环境中；WS2薄膜在某些方面比传统的MoS2薄膜表现更加优越。但在大气环境（尤其潮湿的环境）下，二者的润滑性能会降低。在潮湿环境中，MoS2/WS2复合薄膜可以提高固体润滑薄膜的摩擦性能。本文选用了固体润滑剂MoS2和WS2，在室温大气条件下，对采用磁控溅射的方法制备出的MoS2/WS2复合薄膜，进行摩擦学性能的实验研究。本实验课题的来源于国家自然科学基金：Nb1-xTixSe2（x=0.01-0.1）的制备及作为电接触复合材料摩擦学特性研究；本人大学期间主要从事实验工作。本论文是通过阅读大量的资料，以及结合自己的实验所得的结果。 　　2 摩擦学机理 　　从摩擦学原理看过渡族金属硫硒化物MX2（M=Mo、W、Nb、Ta、Ti、Zr；X=S、Se）是具有层状六方晶格的化合物，和层内原子相比，层间原子间距大得多；同时层内原子以很强的共价键结合，层间的结合是较弱的范德华力，因此层间原子很容易滑移，具有低摩擦，同时其化学稳定性很好，在高温时不分解，可以作为固体润滑材料，用于高/低温、重载、真空、有放射性和腐蚀等油润滑失效的场合。 　　3 薄膜的制备 　　薄膜的制备的主要方法一般有如下四种：反应溅射、直流溅射、射频溅射以及磁控溅射，本实验主要采用射频磁控溅射的方法来对复合薄膜进行制备。 　　射频磁控溅射是一种新型的镀膜方法，其是在溅射镀膜的基础上演变而来，综合了反应溅射、射频溅射等方法的优点。本实验溅射以双放电腔微波ECR等离子体注入装置作为实验设备，靶材为纯度99.99%的纯MoS2和纯度99.99%的纯WS2，将两种靶材共沉积溅射，并进行高温烧结；将硅与不锈钢作为基底材料，腔体本体真空度小于7×10-4Pa，实验前，需要进行15分钟的预溅射，来除去靶材表面的氧化层和杂质。 　　4 实验结果与讨论 　　4.1 复合薄膜的成分，晶体结构 　　本实验通过扫描电子显微镜（SEM）、场发射扫描电镜等实验设备，对薄膜微区进行表征，进而分析薄膜的形貌、成分。 　　膜表面由尺寸为50～100nm的颗粒组成。整个薄膜随机堆积而成，整个薄膜的表面形貌没有明显的MoS2层和WS2层。总之，与纯MoS2薄膜相比，共溅射薄膜的颗粒较小，经共溅射后的复合薄膜更加致密。 　　采用能谱分析仪（EDS），对薄膜微区的化学成分进行了探究。从实验数据中分析得出：（1）随着WS2靶材功率的增加，复合薄膜W的含量也在增大；（2）薄膜的S/W原子比在1.2～1.6之间，说明在溅射过程中损失了部分的S元素。 　　4.2 MoS2/WS2复合薄膜的摩擦性能 　　4.2.1 不同实验载荷下，MoS2/WS2复合薄膜摩擦性能。从图1的摩擦系数曲线可知：随着载荷的增大，薄膜的摩擦系数逐渐变小，而摩擦系数曲线的变化相对趋于稳定，其波动值也没有明显的变化。所以，在高载的工作环境中，MoS2/WS2复合薄膜的摩擦学性能更为优越。 　　4.2.2 不同工作气压下，MoS2/WS2复合薄膜的摩擦性能。从图2的摩擦系数曲线可知：气压的增加，使得离子在碰撞过程中损失的动能不断增多，进而导致薄膜的致密性变差；并且，薄膜表面颗粒化呈现不断加剧的趋势，粗糙度增大，摩擦系数变大。 　　4.2.3 MoS2/WS2复合薄膜与纯MoS2、纯WS2薄膜摩擦性能对比分析。由图3的三条摩擦系数曲线可知：（1）在相同的制备和