微型三轴振动式陀螺仪的理论分析与研制.PDF

行 螺理論 類 行 年年 行 立 力 參理 理 沈 理 利 年 年 行政院國家科學委員會專題研究計劃期中精簡報告 微型三軸振動式陀螺儀的理論分析與研製(II) Theoretical Analysis and Fabrication of Three-axes Resonant Micro-gyroscopes 計劃編號：NSC-93-2218-E-002-055 主持人：張家歐 共同主持人：張簡文添 執行期間： 94 年8 月1 日至95 年8 月31 日 中文摘要 electrodes. In practical use it is usually to measure the capacitance of the electrode and 本計劃是兩年期的，第一年是設計新的支 then find inversely the distance of the 撐結構與驅動之圓環陀螺儀。從事嚴謹的力 parallel-plate electrode. (2) We will make an 學理論分析，從closed-from 之解析解中，瞭 attempt to investigate the manufacturing process for this micro-gyro to see the 解如何藉調整系列尺寸來使in-plane 與 potential difficulty and try to overcome it. (3) out-plane 的彎曲振動自然頻率相同，方可使 Performing the experimental measurement of the natural frequencies of the micro-gyro. 輸出振幅與激發振幅有接近的大小值，否則 輸出訊號太弱不易檢出。第二年:(1) 研究求 1. 角速度與驅動電壓關係 解感測電極間的Laplace’s equation 及邊界電 感測電極的設計如下圖6-1 中的s1~ s4 ，其各 壓條件電極，推算感測電極的上的感應電荷 分佈在π 4 、3π 4 、5π 4 、7π 4 等四處， 其目的為量測Sin 2θ 模態的振幅大小。如圖 以便估算電容值，因為實驗量測時是量電容 所示每個電極所佔的角度為2α 。 值反算圓環位移量。(2) 新支撐結構與驅動之 a4