X射线能谱精确定量技术的研究-材料学专业论文.docxVIP

中文摘要配备X射线能谱仪的扫描电镜和电子探针已广泛的应用于分析领域，是最 中文摘要 配备X射线能谱仪的扫描电镜和电子探针已广泛的应用于分析领域，是最 为主要的微区成分分析的工具。提高能谱仪的定量分析质量，进而促进相关领域 的科学研究和工农业生产的发展，意义重大。 本论文对能谱仪的结构、INCA能谱定量分析系统、定性、定量分析和能谱 仪的应用等方面进行了叙述，对三种典型试样——玻璃、不锈钢、低碳钢，定量 分析时的脉冲处理时间、束斑直径、加速电压、活时间等测量条件进行了深入研 究。 不锈钢中除Fe外，主要合金元素有Cr和Ni，同时还含有少量的Mn、P、S、 Mo、V、Ti等，定量分析的难度主要体现在对低含量元素的分析上。通过依次 改变测试条件，分析定量结果，获得了不锈钢样品的最佳测试条件：处理时间5， 束斑直径5，加速电压20kV，活时间100s。 在电子束照射下玻璃中的K、Na离子会发生迁移现象，对可迁移组分的研 究是玻璃试样准确定量的关键。通过实验和对结果分析，获得了玻璃试样的最佳 测试条件：处理时间5，束斑直径5，加速电压18kV，活时间75s。 碳为超轻元素，具有特征X射线能量低、荧光产额小、临界激发电压低等 特点，并且在分析过程中存在碳污染，定量分析结果的准确度差。用灵敏度曲线 法对低碳钢中碳的k比率进行处理，来获得碳元素的准确定量。其最佳测试条件 为处理时间5，束斑直径5，加速电压18kV，活时间100s，对应的碳元素含量计 算公式为Ci=65．27Ki．0．40。 关键词： 能谱仪定量分析低碳钢灵敏度曲线法 AB AB STRACT Energy Dispersive Spectrometer(EDS)has been widely applied to analytical field with electron probe and scanning electron microscopy,and it iS the main tool of element analysis-It is very important to improve the quality of quantitative analysis， SO as to improve the development of relevant scientific research and agricultural and industrial production． The paper gives a view of the structure of EDS，the system of INCA energy analysis，qualitative，quantimtive analysis and application ofEDS．The paper conducts a deep research in the test conditions of process time，spotsize，accelerating voltage and live time for three typical samples--glass，stainless steel and mild steel． The stainless steel，besides Fe，mainly contains alloy elements Cr and Ni．and a small quantity of Mn，只S，Mo，V Ti，etc．The quantitative analysis is determined by the analysis of low-content element．The optimum test conditions are obtained through changing test conditions in turn and analyzing quantitative results as listed here： process time 5，spotsize 5，accelerating voltage 20kV,live time 1 00s． Study on the movable elements is the key problem when precise quantitative result is considered，since K and Na cation in glass would transfer under the electronic bombardment．The optimum test conditions are process time 5，spotsize 5， accelerating