第9章半体传感器.ppt

9.2.2 半导体陶瓷湿敏电阻 通常，用两种以上的金属氧化物半导体材料混合烧结而成为多孔陶瓷。 负特性湿敏半导体陶瓷：电阻率随湿度增加而下降 ZnO-LiO2-V2O5系、Si-Na2O-V2O5系、 TiO2-MgO-Cr2O3系、等 正特性湿敏半导体陶瓷：电阻率随湿度增加而增大 Fe3O4 图 9-9 几种半导瓷湿敏负特性 由于水分子中的氢原子具有很强的正电场，当水在半导瓷表面吸附时，就有可能从半导瓷表面俘获电子，使半导瓷表面带负电。 Ｐ型半导体 Ｎ型半导体:表面反型层 1. 负特性湿敏半导瓷的导电机理 图 9-10 Fe3O4半导瓷的正湿敏特性 当水分子附着半导瓷的表面使电势变负时，电子浓度下降，表面电阻将由于电子浓度下降而加大，这类半导瓷材料的表面电阻将随湿度的增加而加大。 对某一种半导瓷，晶粒间的电阻并不比晶粒内电阻大很多，那么表面层电阻的加大对总电阻并不起多大作用。不过，通常湿敏半导瓷材料都是多孔的，表面电导占的比例很大，故表面层电阻的升高， 必将引起总电阻值的明显升高。 2. 正特性湿敏半导瓷的导电机理 图9-11 MgCr2O4-TiO2陶瓷 图9-12 MgCr2O4-TiO2陶瓷湿度传感器 相对湿度与电阻的关系 3. 典型半导瓷湿敏元件 （1）MgCr2O4-TiO2