用于平板显示器制造业的快速激光刻蚀跟湿法光刻技术跟比较.pdfVIP

激光技术与应用 LaserTechnologyApplications 用于平板显示器制造业的快速激光刻蚀 与湿法光刻技术之比较 ●崔锦江 实验证明,ITO薄膜的快速激光刻蚀 R（LP）是一种可行而且可靠的方法，可以替代平板显示制造业中现行 的湿法光刻技术。但是,任何新技术想要取代工业生产中已经成熟的传统技术,都必须与传统技术放在一起进行全 面的比较和对照，新工艺必须在技术和经济2方面都体现出明显的优越性才能为用户所接受。 唯一可行的技术，没有其它任何技术可以替代它用 1 引 言 于大规模生产。然而，在FPDs制造业中即使是精 一直以来，湿法光刻技术都是在玻璃以及其它 度要求最高的薄膜晶体管 （ TFT），其精度要求也不 基板上进行薄膜刻蚀的标准工业技术。平板显示器 过几微米，远低于半导体制造业中几十纳米的精度。 （FPDs）制造业是湿法光刻技术的主要应用领域， 因此，诸如激光刻蚀等新的薄膜图形制成技术很有 现在新一代的薄膜太阳能电池也加入了这个行列。 希望在平板显示行业得到突破。 湿法光刻技术有很多优点，半导体制造业将其发展 RLP）技术是利用激光直接在透 快速激光刻蚀 （ 到了一个非常精细的程度，在硅片上制作的晶体管 明基板上对薄膜进行刻蚀，通过计算机控制激光光 已经达到了纳米尺寸。 束的移动，激光对薄膜材料进行选择性气化，形成 但是，湿法光刻技术也有严重的缺点： 所需要的图形。与湿法光刻技术不同，它不需要事 1）使用有毒化学药品，会造成水污染； （ 先在薄膜上用光刻胶形成掩模，既简化了工艺流程 （2）工艺流程复杂，步骤繁多，完成整个制造过 也不会造成环境污染。早在20世纪90年代，就已 程需要较长的时间； 经有了关于激光刻蚀薄膜研究的报道，研究人员采 （3）要求具有高度净化、恒温恒湿的工艺环境 用多种脉冲激光器进行了这方面的研究，如准分子 且占地面积较大； 激光器、固态激光器以及光纤激光器等。然而，直 4（）高精度曝光机等主要设备价格昂贵； 到最近几年RLP才得以应用于平板显示器制造业之 5（）化学药品消耗量大，间接材料成本高。 中。 在半导体制造业中，迄今为止湿法光刻技术是 高平均功率、Q开关、纳秒脉冲持续时间的二 11 April2008 激光技术与应用 LaserTechnologyApplications 极管泵浦固体激光器 D（PSSL）非常适用于RLP应 湿法光刻样品采用了ITO光刻的常