以離子源助镀法蒸镀ZnS光学薄膜应力特性之研究.PDFVIP

報告題名： 以離子源助鍍法蒸鍍ZnS 光學薄膜 應力特性之研究 作者：鞠曉山 系級：電機系三年級甲班 學號：D9151434 開課老師：田春林 老師 課程名稱：薄膜光學 開課系所：電機所 光電組 開課學年： 93 學年度 第 二 學期 以離子源助鍍法蒸鍍ZnS 光學薄膜應力特性之研究 摘要 本研究以電子槍蒸鍍輔以離子源助鍍法將硫化鋅﹙ZnS ﹚薄膜鍍 在基板上，並針對電子槍蒸鍍輔以離子源助鍍法的製程參數和硫化鋅 薄膜的光學性質以及應力特性作深入探討。 本研究的應力量測是利用 Twyman-Green 干涉儀的型式配合牛頓 環法的計算公式，藉擷取干涉圖與影像數據做運算與分析以提昇量測 精準度。 關鍵字：硫化鋅、電子槍蒸鍍輔以離子源助鍍法、應力、熱應力、光 學常數、熱應力。 I 逢甲大學學生報告ePaper(2005 年) 以離子源助鍍法蒸鍍ZnS 光學薄膜應力特